下载超声波清洗组件以及超声波清洗方法的技术资料

文档序号:786465

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本发明提供一种超声波清洗组件和一种用于清洗分开的电子部件的方法。该组件包括:具有形成在其中的多个切割凹口的表面的切割夹盘,用于在夹盘的表面上使用切割器件,从具有多个电子部件的基板分离单个的电子部件;在夹盘和夹盘上的分离电子部件的上面支持的震...
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