液晶显示屏电化学清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种液晶显示屏电化学清洗方法，旨在提供一种利用金刚石膜与清洗剂相结合能够达到较好的清洗效果，而且工艺简单，操作方便，使用寿命长，满足环保要求的液晶显示屏的清洗方法。该方法包括下述步骤：金刚石膜配合清洗剂清洗；清洗剂清洗；金刚石膜清洗；两次水超声漂洗；喷淋；烘干得到高洁净的液晶显示屏。所述清洗剂按体积百分比由下述组分组成：胺碱３０％～４５％，非离子表面活性剂１％～５％，余量的水。该清洗方法中的金刚石膜结构，可以根据电流控制氧化强度，而且不依赖超声作用，不需要加温。清洗剂为水溶性清洗剂，不但能够去除残留在晶片表面上的有机污染物，还能够去除表面的颗粒或金属离子等污染物。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液晶显示屏电化学清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：（１）金刚石膜配合清洗剂清洗：在一槽中，以金刚石膜为阳极，石墨为阴极，两极之间加入清洗剂并加入８～１５倍水作为电解质，将液晶显示屏装入花篮，浸泡在其中，室温清洗５～１０分钟；所 述清洗剂按体积百分比由下述组分组成：胺碱３０％～４５％，非离子表面活性剂１％～５％，余量的水；（２）清洗剂清洗：将清洗剂中加入８～１５倍水放入第二槽中，并加热到５０～６０℃，将液晶显示屏花篮从一槽中取出，放入二槽，配合超声波作用清洗 大约５～１０分钟；所述清洗剂按体积百分比由下述组分组成：胺碱３０％～４５％，非离子表面活性剂１％～５％，余量的水；（３）金刚石膜清洗：在三槽中，以金刚石膜为阳极，石墨为阴极，两极之间加入水作为电解质，将液晶显示屏花篮从二槽中取出，放 入三槽，室温清洗大约５～１０分钟；（４）水超声漂洗：将水放入四槽中，加热到５０～６０℃，将液晶显示器花篮从三槽中取出，放入四槽，进行超声漂洗５～１０分钟；（５）水超声漂洗：将水放入第五槽，加热到５０～６０℃，将液晶显示器花篮 从四槽中取出，放入五槽，进行超声漂洗５～１０分钟；（６）喷淋：用温度为５０～６０℃的水对液晶显示屏进行喷淋。（７）烘干。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉岭，李薇薇，常明，潘鹏，
申请(专利权)人：天津晶岭微电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]