【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种超声波边沿清洗装置，其特征在于，具有：在一端安装超声波振子的扩大端部；从该扩大端部延伸的振动传送部；形成在该振动传送部另一端附近的双岔部；与该双岔部隔开细小间隙并可旋转地被支撑的被清洗物；和向该被清洗物的表面提供清洗液的清洗液供给部，其中，向上述被清洗物的边沿附近提供上述清洗液，将从上述超声波振子提供的超声波照射向流入到上述双岔部的上述清洗液，从而清洗上述被清洗物的边沿。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：本多洋介，朝山由宇市，舞田雄一，疋田智美，村松喜和，近藤凉次，山森春男，藤原直之，
申请(专利权)人：本多电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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