【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种直型流量计传感器。
技术介绍
1、以往，作为使用超声波的测量装置，提出了各种进行液体的流量测量的超声波流量计。在该超声波流量计中，在液体流动的配管的中途设置有流量测量管，在该流量测量管的上游侧位置及下游侧位置分别设置有超声波传感器。然后，使用这些超声波传感器收发超声波，根据从上游侧向下游侧传播的超声波的传播时间与从下游侧向上游侧传播的超声波的传播时间的时间差，来计算液体的流量。
2、这种超声波流量计，例如被用于测量在半导体制造装置中流动的各种药液或超纯水的流量。特别是对于药液，通常为高温且具有腐蚀性。因此，有时选择由耐药品性或耐热性优异的pfa等氟树脂构成的直管作为接液部的配管。
3、另外，作为相对于这样的pfa管的超声波流量计，以往存在可安装的夹钳式(例如参照专利文献1)。
4、而且，作为这种直型流量计传感器，以往提出了以下的技术方案，即这种直型流量计传感器具备：一对超声波振子和将一对超声波振子收容并定位固定的壳体，一对超声波振子在液体流动的直线配管的轴线方向偏置配置，能够进行超声波的收发，配管被构成壳体的一对壳体分割片夹持并保持固定(例如参照专利文献2)。
5、现有技术文献
6、专利文献
7、专利文献1：日本专利第5927394号公报
8、专利文献2：日本专利第6789766号公报
9、但是，由于pfa管具有挠性，所以即使想用壳体直接夹持并保持固定，也容易产生变形等，难以牢固地保持。因此，pfa管可能相对于壳体在
10、在此，虽然也可以考虑将pfa管经由橡胶等弹性部件保持固定在壳体上，但以往没有提出过能够牢固地进行保持的具体结构。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种耐药性和耐热性优异且相对于壳体的配管的保持力也优异的直型流量计传感器。
2、为了解决上述课题，技术方案1所记载的专利技术提供一种直型流量计传感器，其包括：一对超声波振子和将一对超声波振子收容并定位固定的壳体，一对超声波振子在流体流动的直型的且氟树脂制的配管的轴线方向偏置配置，能够收发超声波，其特征在于，该直型流量计传感器还包括，弹性部件和按压固定部件，其中，所述弹性部件外嵌于所述配管，其从所述配管轴线方向观察时的外形形状呈多边形，所述按压固定部件通过夹着所述弹性部件而将包含所述弹性部件的顶点部分的外周面向弹性部件中心按压，从而将所述配管固定在所述壳体上。
3、因此，根据技术方案1所述的专利技术，按压固定部件通过夹持并按压外嵌于配管的弹性部件，使得保持力经由与配管紧密接触的弹性部件，被作用于配管的外周面，其结果，配管被保持固定在壳体上。另外，弹性部件从配管的轴线方向观察时的外形形状为多边形，按压固定部件将包含这样的多边形的弹性部件的顶点部分的外周面朝向弹性部件中心按压。因此，来自按压固定部件的按压力有效地作用于弹性部件而压缩弹性部件，由此，配管以充分的保持力牢固地保持固定在壳体上。因此，能够防止配管朝轴线方向的位置偏移，并且也能够防止水等从壳体与配管之间的间隙侵入。
4、技术方案2所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1的基础上，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体外区域。
5、因此，根据技术方案2所述的专利技术，由于也可以不将弹性部件内置于壳体内，所以能够使壳体自身小型化。
6、技术方案3所述的专利技术，其特征在于，在技术方案2的基础上，在所述壳体的端面形成有突起，所述弹性部件和所述突起被所述按压固定部件夹持。
7、因此，根据技术方案3所述的专利技术，通过按压固定部件与弹性部件一起夹入突起，配管相对于壳体被更牢固地保持固定。
8、技术方案4所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1的基础上，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体内区域。
9、因此，根据技术方案4所述的专利技术，由于弹性部件被收容在壳体内而从外部看不见，所以能够设计成突出部分少、整体性好的结构。
10、技术方案5所述的专利技术，其特征在于，在技术方案2或4的基础上，在所述按压固定部件的外侧面形成有突起，所述突起被夹在所述壳体中。
11、因此，根据技术方案5所述的专利技术，通过壳体与弹性部件一起夹入突起，配管相对于壳体被更牢固地保持固定。
12、技术方案6所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1至5中的任一项的基础上，所述按压固定部件与所述壳体分体设置。
13、因此，根据技术方案6所述的专利技术，由于按压固定部件能够经过与壳体不同的工序来制作，因此跟按压固定部件例如与壳体一体形成的结构相比，具有按压固定部件容易形成为适于按压的复杂形状等的优点。另外，由于按压力不依赖于壳体的螺纹紧固力，所以例如即使在配管中流过高温的液体时，壳体也难以产生热变形。另外，还消除了由热变形引起的按压力降低的风险。
14、技术方案7所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1、2或4的基础上，所述按压固定部件被一体地形成在所述壳体的一部分上。
15、因此，根据技术方案7所述的专利技术，与例如与壳体分体形成的专利技术相比，能够减少部件数量，并且能够减少组装工时。
16、技术方案8所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1至7中的任一项的基础上，所述弹性部件形成为具有偶数个所述顶点部分的多边形。
17、因此，根据技术方案8所述的专利技术，与例如形成具有奇数个顶点部分的多边形相比，能够容易形成弹性部件自身及与其对应的形状的按压固定部件。另外，由于从对角线上的两个方向施加按压力，所以能够有效地作用按压力。
18、技术方案9所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1至8中的任一项基础上，所述弹性部件，从所述配管的轴线方向观察时的外形形状为四边形或六边形，且所述按压固定部件通过组合一对分割片而构成，在所述一对分割片彼此的接合面上形成有由与所述弹性部件所述顶点部分及所述外周面接触的多个按压面构成的弹性部件保持凹部，所述多个按压面中与所述弹性部件保持凹部的开口缘相连的部分以朝向所述接合面侧的方式倾斜，在利用所述一对分割片夹入所述弹性部件时，成为上述配管的中心位于上述接合面的延长上的状态。
19、因此，根据技术方案9所述的专利技术，在一对分割片的弹性部件保持凹部保持弹性部件，在该状态下将分割片彼此接合，由此多个按压面与包含弹性部件的顶点部分的外周面接触。其结果是，包含弹性部件的顶点部分的外周面向弹性部件中心有效且可靠地按压，能够有效地作用按压力。另外，由于位于弹性部件保持凹部的开口附近的按压面以朝向接合面侧的方式倾斜，所以能够容易地对在弹性部件保持凹部内呈四边形或六边形的弹性部件进行保持。进而，在利用一对分割片夹入弹性部件时，配管的中心位于接合面的延长上的状态的结构，除了容易设计之外，还具有容易对弹性部件均等地施加按压力的优点。
【技术保护点】
1.一种直型流量计传感器，其包括：一对超声波振子和将一对超声波振子收容并定位固定的壳体，
2.如权利要求1所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体外区域。
3.如权利要求2所述的直型流量计传感器，其特征在于，在所述壳体的端面形成有突起，所述弹性部件和所述突起被所述按压固定部件夹持。
4.如权利要求1所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体内区域。
5.如权利要求2或4所述的直型流量计传感器，其特征在于，在所述按压固定部件的外侧面形成有突起，所述突起被夹在所述壳体中。
6.如权利要求1至5中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件与所述壳体分体设置。
7.如权利要求1、2或4所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件被一体地形成在所述壳体的一部分上。
8.如权利要求1至7中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件形成为具有偶数个所述顶点部分的多边形。
9.如权利要求1至8中任一项所述的直型流
10.如权利要求3或5所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述突起是在所述壳体的端面或所述按压固定部件的外侧面以包围所述配管的方式突出设置的凸缘部。
11.如权利要求9所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件是通过组合一对分割片而构成为大致圆环状的按压固定环，所述一对分割片在两端部分别具有第一连接部及第二连接部，在所述第一连接部中，使突出设置在一方的所述分割片上的卡合爪与设置在另一方的所述分割片上的卡合孔卡合，并且在所述第二连接部中，通过将插通一方的所述分割片的紧固部件螺合在另一方的所述分割片上，使得所述一对分割片相互连接。
12.如权利要求1至11中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，在所述按压固定部件的外侧面突出设置有沿所述配管的周向延伸的加强筋。
13.如权利要求1至12中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件内包着所述弹性部件。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种直型流量计传感器，其包括：一对超声波振子和将一对超声波振子收容并定位固定的壳体，
2.如权利要求1所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体外区域。
3.如权利要求2所述的直型流量计传感器，其特征在于，在所述壳体的端面形成有突起，所述弹性部件和所述突起被所述按压固定部件夹持。
4.如权利要求1所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件外嵌于所述配管的壳体内区域。
5.如权利要求2或4所述的直型流量计传感器，其特征在于，在所述按压固定部件的外侧面形成有突起，所述突起被夹在所述壳体中。
6.如权利要求1至5中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件与所述壳体分体设置。
7.如权利要求1、2或4所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述按压固定部件被一体地形成在所述壳体的一部分上。
8.如权利要求1至7中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件形成为具有偶数个所述顶点部分的多边形。
9.如权利要求1至8中任一项所述的直型流量计传感器，其特征在于，所述弹性部件，从所述配管的轴线方向观察时的外形形状为四边形或六边形，且所述按压固定部件通过组合一对分割片而构成...
【专利技术属性】
技术研发人员：村井勇气，松下尚孝，外村启真，稻垣克幸，石黑裕也，
申请(专利权)人：本多电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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