导电性薄膜结构体以及导电性薄膜结构体的制造方法技术

本发明专利技术提供一种较以往品质更为良好的导电性薄膜结构体。导电性薄膜结构体(5)具备：基板(1)；形成在基板(1)上的细线结构(2)；以及以被覆细线结构(2)的方式形成在基板(1)上的透明电极(3)，细线结构(2)以及透明电极(3)通过使用凹版滚筒(21、31)以及胶印滚筒(22、32)在基板(1)进行凹版胶印法而连续地形成，胶印滚筒(22、32)由橡皮布(22a、32a)被覆其表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种导电性薄膜结构体以及该导电性薄膜结构体的制造方法，该导电性薄膜结构体具备基板；形成在基板上的细线结构；以及以被覆细线结构的方式形成在基板上的透明电极。
技术介绍
近年来，利用太阳能电池板供应电カ的太阳光发电系统开始普及。特别是环护意识的增强或在政府辅助金制度的推动下，可预知今后一般家庭的使用以及产业的使用上，对太阳光发电系统的需求皆会日益増加。并且，近年来，触摸屏多数地用作银行自动提款机(ATM)、便携式信息終端机、汽车导航系统(automotive navigation system)、复合机等电子机器的输入装置。触摸屏是按 照显示在画面的影像而进行操作的装置，其作为对于年长者等也容易直接了解的输入装置而日益普及。可预知今后对于触摸屏的需求也会日益増加。触摸屏与液晶屏、有机电致发光屏等显示装置组合在一起使用。另外，在太阳能电池板中，为了使太阳光有效地照射到产生电子的半导体基板而使用有透明电极。该透明电极使用例如锡掺杂氧化铟膜(ITO)等。在触摸屏、液晶屏、有机电致发光(E L)屏等(以下有略称为触摸屏等的情形)中，为了使显示器(display)的影像显示给操作者也使用与太阳能电池相同的透明电极。因此，在太阳能电池板及触摸屏等中，便会希望尽量増大透明电极的透明度(透光率)。而另一方面，在太阳能电池板以及触摸屏等中，如果想要达到足够低的电阻值就必须增加透明电极的膜厚。这样ー来便会导致透光率的减少或者原材料成本的增加。因此，对于使用在太阳能电池板或触摸屏等的透明电极而言，兼备高透光性与低电阻的技术变得不可缺少。关于此点，以往的技术存有在基板上形成透明导电性薄膜时，在两者之间设置电阻值低的辅助电极(例如參照专利文献I)。在专利文献I的太阳能电池用电极中，为了减小太阳能电池用电极整体的电阻值而在基板上由溅镀法(sputtering)形成辅助电扱。此处，辅助电极形成为网格几何形状，用以防止损及在后续步骤中所形成的透明导电性薄膜的透明性。再者，关于在后续步骤中所形成的透明导电性薄膜，也实行与辅助电极相同的溅镀法。专利文献I :日本专利特开2004-296669号公报
技术实现思路
然而，如同专利文献I所述，当采用溅镀法形成网格几何形状的辅助电极时，有必要对基板预先实施合乎网格几何形状的遮蔽(mask)处理或者在溅镀之后配合网格几何形状进行蚀刻(etching)处理。因此，难以有效率地制造太阳能电池用电极。并且，如同专利文献I所述，利用溅镀法在基板上形成辅助电极以及透明导电性薄膜吋，为了达到基板与辅助电极以及透明导电性薄膜的位置对准精度，则有必要精确地进行遮蔽处理以及蚀刻处理并要求丰富的经验。再者，溅镀法是在减压下使氩离子碰撞作为标靶的电极材料，利用该冲击使被弾飞的电极材料附着在基板形成薄膜。在这种严峻的环境下可适用的基板种类受到限制。然后，为了实施溅镀法，需要有氩气供给源、高压电源、真空室(vacuum chamber)、真空泵等的大型装置。因此，设备成本及维护成本的负担大。像这样，在目前情况下，尚未开发出来可良好地維持基板与辅助电极以及透明导电性薄膜的位置对准精度，又可有效率地且低成本地制造的导电性薄膜结构体。本专利技术鉴于上述问题点而开发，其目的在于提供ー种较以往品质更为良好的导电性薄膜结构体。并且，本专利技术目的在于提供ー种较以往能够更有效率地且低成本地实施的导电性薄膜结构体的制造方法。用于解决上述问题，本专利技术的导电性薄膜结构体的特征结构在于一种导电性薄 膜结构体，该导电性薄膜结构体具备基板；形成在所述基板上的细线结构；以及以被覆所述细线结构的方式形成在所述基板上的透明电极，所述细线结构以及所述透明电极通过使用凹版滚筒以及胶印滚筒在所述基板进行凹版胶印法而连续地形成，所述胶印滚筒由橡皮布被覆其表面。如同
技术介绍
项目中所述，由于以往的导电性薄膜结构体由溅镀法制造，所以难以有效率地进行制造，而且还难以达到基板与细线结构(辅助电极)以及透明电极(透明导电性薄膜)的位置对准精度。并且，因为基板的种类受到限制，而且需要大型的设备，从而成为高成本的原因。就此点而言，在本构成的导电性薄膜结构体中，使用凹版滚筒以及表面由橡皮布被覆的胶印滚筒进行凹版胶印法，在基板上连续地形成细线结构以及被覆该细线结构的透明电极。由于该凹版胶印法可以通过凹版滚筒以及胶印滚筒的旋转高速度地实施，因此能够有效率地在基板上形成细线结构以及透明电极。并且，由于凹版滚筒以及胶印滚筒能够容易地进行机械式的调节，并且能够精确地使其旋转，所以能够使基板与细线结构以及透明电极的位置对准精度变得良好。再者，在本构成中，因为不需要以往的溅镀法那样高价又大型的设备，所以可适用的基板种类便甚为广泛，能够降低导电性薄膜构造体的制造成本。并且，与以往的溅镀法相比，本构成具有能够减少所使用的能源的用量且不需要洗浄水的优点。本专利技术的导电性薄膜结构体中，优选设定所述细线结构具有ΙΟμπι以下的线宽，且所述橡皮布的厚度在3mm以上、橡胶(优カ胶)肖氏硬度(gum Shore hardness)在20以下。如本构成的导电性薄膜结构体，通过将被覆胶印滚筒表面的橡皮布设为厚度在3mm以上、橡胶肖氏硬度在20以下，从而能够有效率地且确实地形成具有10 μ m以下线宽的精细的细线结构。本专利技术的导电性薄膜结构体，优选地作为太阳能电池板、触摸屏、液晶屏、或有机电致发光屏的部件使用。如本构成的导电性薄膜结构体，由于能够有效率地且低成本地提供兼备高透光率与低电阻值的高品质导电性薄膜结构体，所以能够适宜作为可预知今后对其需求将日益增加的太阳能电池板、触摸屏、液晶屏、或者有机电致发光屏的部件来使用。用于解决上述问题点的本专利技术导电性薄膜结构体的制造方法的特征结构在于一种导电性薄膜结构体的制造方法，该导电性薄膜结构体的制造方法包括细线结构形成步骤，在基板上形成细线结构；以及透明电极形成步骤，在形成有所述细线结构的基板上形成被覆所述细线结构的透明电极，所述细线结构及所述透明电极通过使用凹版滚筒及胶印滚筒在所述基板进行凹版胶印法而连续地形成，所述胶印滚筒由橡皮布被覆其表面。本构成的导电性薄膜结构体的制造方法，能够产生与上述的导电性薄膜结构体实质上相同的作用效果。即，本构成的导电性薄膜结构体的制造方法使用凹版滚筒以及表面由橡皮布被覆的胶印滚筒进行凹版胶印法，在基板上连续地形成细线结构以及被覆该细线结构的透明电极。由于该凹版胶印法可通过凹版滚筒以及胶印滚筒的旋转高速度地实施，所以能够在基板上有效率地形成细线结构以及透明电极。并且，由于凹版滚筒以及胶印滚筒能够容易地进行机械式的调节，并且能够精确使其地旋转，所以能够使基板与细线结构以及透明电极的位置对准精度变得良好。再者，在本构成中，因为不需要以往溅镀法那样高价又大型的设备，所以可适用的 基板种类便甚为广泛，而且能够降低导电性薄膜构造体的制造成本。并且，与以往的溅镀法相比，本构成具有能够减少所使用的能源的用量且不需要洗浄水的优点。本专利技术的导电性薄膜结构体的制造方法中，优选设定所述细线结构具有ΙΟμπι以下的线宽，且所述橡皮布的厚度在3mm以上、橡胶(优カ胶)肖氏硬度(gum Shorehardness)在 20 以下。本构成的导电性薄膜构造体的制造本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.10.07 JP 2009-2329181.一种导电性薄膜结构体，其特征在干，该导电性薄膜结构体具备 基板； 形成在所述基板上的细线结构；以及 以被覆所述细线结构的方式形成在所述基板上的透明电极， 所述细线结构以及所述透明电极通过使用凹版滚筒以及胶印滚筒在所述基板进行凹版胶印法而连续地形成，所述胶印滚筒由橡皮布被覆其表面。2.根据权利要求I所述的导电性薄膜结构体，其中设定所述细线结构具有ΙΟμπι以下的线宽，且所述橡皮布的厚度在3mm以上、橡胶肖氏硬度在20以下。3.根据权利要求I或2所述的导电性薄膜结构体...

【专利技术属性】
技术研发人员：阪本行，
申请(专利权)人：阪本顺，
类型：发明
国别省市：