小尺寸基片真空镀膜载具制造技术

本实用新型专利技术主要公开了小尺寸基片真空镀膜载具，包括外框架、可调整横档部；外框架包括上、下横架杆和左、右侧架杆，可调整横挡与上、下横架杆平行，两端固定于左、右侧架杆的长条孔中。可调整横档包括中横架杆、弹簧片、簧片压条，弹簧片位于横架杆的前后两侧面，由簧片压条分别贴于弹簧片之外，通过固定件穿过簧片压条和弹簧片，与横架杆连接。本实用新型专利技术适用于多种尺寸的基片镀膜，而且夹持稳定可靠，确保镀膜工艺的顺利进行。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及导真空镀膜产品载具
，特别涉及ー种小尺寸基片真空镀膜载具。
技术介绍
真空镀膜机在真空镀膜吋，需要将基片载入到载具上进入真空腔室中镀膜。由于产品更新换代，基片尺寸改变，固定尺寸的载具无法应用于其他尺寸的基片镀膜，所以需要根据新尺寸重新设计载具，这样成本高，重复设计步骤繁琐，着实不适用于现有不同尺寸基 片镀膜エ艺中。因此开发可调性的基片装载夹具成为技术革新焦点。在中国专利ZL200920037426. 9中公开了ー种可调式玻璃基片架，在该专利中通过横杆在长槽孔中上下移动调节固定高度，而上下夹具在横杆滑槽中移动实现固定宽度调节，由此来适用于不同尺寸基片的装载。但是由于该专利技术方案中，上下夹具采用多个独立的弹簧片，固定基片时稳定性不高，影响镀膜过程中形成的产品质量。又，在中国专利ZL201120040051. 9中掲示的ー种玻璃溅镀用取放胎具，在该专利技术方案中，横向布设的夹持杆通过长型孔中上移动来实现玻璃基片固定高度调节，相邻的夹持杆设置ー对V型槽(朝下V型槽和朝上V型槽)来夹住玻璃基片，V型槽是与夹持杆长度一直的通槽，所以可以夹持任意宽度的玻璃基片。由于本专利技术中，夹持玻璃基片固定主要是通过玻璃基片边缘嵌入V型槽内实现，没有其他辅助力量夹持，所以稳定性仍然不够可靠。为了解决上述问题，本专利技术人设计出小尺寸基片真空镀膜载具，本案由此产生。
技术实现思路
针对现有技术中存在的诸多问题，本技术提供ー种小尺寸基片真空镀膜载具，适用于多种尺寸的基片镀膜，而且夹持稳定可靠，确保镀膜エ艺的顺利进行。本技术通过以下技术方案来实现小尺寸基片真空镀膜载具，包括外框架、可调整横档部；外框架包括上、下横架杆和左、右侧架杆，可调整横挡与上、下横架杆平行，两端固定于左、右侧架杆的长条孔中；可调整横档包括中横架杆、弹簧片、簧片压条，弹簧片位于横架杆的前后两侧面，由簧片压条分别贴于弹簧片之外，通过固定件穿过簧片压条和弹簧片，与横架杆连接。所述的弹簧片包括横向基片和若干个从横向基片上向外延伸弯折形成弹簧压齿。所述的横架杆的前后两侧面具有中间突起的横向筋条，横向筋条上布设有多个固定孔，横向筋条的两边具有用于限制弹簧压齿的齿端限位槽。所述的弹簧压齿为等间距分布。所述的簧片压条上设置有与固定孔对应的穿孔一。所述的横向基片上设置有与固定孔对应的穿孔ニ。所述的外框架上配有与台车固定的夹具。采用上述方案后，本技术具有诸多有益效果本技术中可调整横档通过固定在长条孔中不同位置实现基片固定高度调节。可调整横档中的弹簧片为均匀齿状连续分布，可适用于任何尺寸小于外框架大小的基片，不论是基片是规则还是非规则形状均可良好固定，不会产生移片、傾斜、掉片、破片等问题。可调整横档为前后两侧弹簧片双侧设置，实现双侧同时上载基片进行镀膜。齿端限位槽不但可对弹簧片起到限制变形和限位作用，还可有效防止弹簧压齿端部变形突出造成对基片的刮伤。附图说明图I为本技术较佳实施例的平面结构图；图2为本技术较佳实施例的立体结构图；图3为本技术较佳实施例中上横架杆的立体结构图一；图4为本技术较佳实施例中上横架杆的立体结构图ニ ；图5为本技术较佳实施例中左侧架杆的立体结构图；图7为本技术较佳实施例中横架杆的立体结构图；图8为本技术较佳实施例弹簧片的立体结构图；图9为本技术较佳实施例簧片压条立体结构图；图10为本技术较佳实施例可调整横档部的立体结构图一；图11为本技术较佳实施例可调整横档部的立体结构图ニ ；图12为本技术较佳实施例中上夹具的剖面图；图13为本技术较佳实施例中上夹具的立体图；图14为本技术较佳实施例中下夹具的剖面图；图15为本技术较佳实施例中下夹具的立体图；图16为本技术较佳实施例中安装于台车上结构示意图。 具体实施方式结合附图，对本技术较佳实施例做进ー步详细说明。小尺寸基片真空镀膜载具，主要涉及到的部件包括外框架、可调整横档部。外框架，如图I、图2所示，其尺寸适合台车单个固定空间而定，包括上横架杆11、下横架杆12、左侧架杆13、右侧架杆14拼装而成。如图3、图4所示，上横架杆11外表面上顶端开设若干个用于夹具固定的夹具槽111。上横架杆11的两个端部开设有用于拼接的上固定螺孔112。下横架杆12如图6所示，两端同样设置有用于拼接的下固定螺孔121。左侧架杆13、右侧架杆14结构相同，如图6所示，两端设置有侧固定螺孔131，且在杆件上具有一道长条形的长条孔132。四者通过螺钉进行两两端部固定，组成ー个矩形框架，作为本技术外框架。在外框架中间的部位设置有可调整横档部2，如图10所示，安装时其两端通过固定件固定于左侧架杆13、右侧架杆14中的长形孔132中，与上横架杆11和下横架杆12保持平行。可调整横档部2主要包括的部件中横架杆21、弹簧片22、簧片压条23，如图7 图9所示。中横架杆21也属于金属杆件，在其前后两侧面上形成突起的横向筋条211，横向筋条211中布设若干等间距排列的固定孔212。在横向筋条21的两边各形成一个齿端限位槽213。弹簧片22包括横向基片221和弹簧压齿222，横向基片221是ー个与横向筋条211长度一致的基础片材，在横向基片221同样开设有与固定孔212对应的穿孔ニ 223。弹簧压齿222从横向基片221的上下两侧边向外延伸而成，井中间处弯折，形成齿端。弹簧压齿222也具有多个，且等间距分布。在安装吋，上下两侧的弹簧压齿222包住横向筋条21放置，弹簧压齿222伸入齿端限位槽213进行限制。簧片压条23是ー个金属片材，其上开设与固定孔212和穿孔ニ 223均对应的穿孔一 231。安装时簧片压条23紧贴于弹簧片22外端面，然后采用固定件，如螺钉24 —一穿过穿孔一 231、穿孔ニ 223、固定孔212进行固定连接。外框架安装到台车时，配有夹具与台车固定。夹具包括上夹具3如图12、图13所 示，下夹具4如图14、图15所示。上夹具3包括上外框架夹31和上台车托槽32。上外框架夹31是与上横架杆11的夹具槽111夹体，上台车托槽32是ー个与台车杆件形状相配的槽体，两者背板连结成一体。下夹具4包括下外框架夹41和下台车托槽42，下外框架夹41是与下横架杆12相配的槽体，下台车托槽42是ー个与台车杆件形状相配的槽体，两槽体背部连结成一体。在上载至台车时如图16所示，上夹具3、下夹具4分别与上横架杆11下横架杆12连接定位。上述实施例仅用于解释说明本技术的专利技术构思，而非对本技术权利保护的限定，凡利用此构思对本技术进行非实质性的改动，均应落入本技术的保护范围。权利要求1.小尺寸基片真空镀膜载具，其特征在于包括外框架、可调整横档部；外框架包括上、下横架杆和左、右侧架杆，可调整横挡与上、下横架杆平行，两端固定于左、右侧架杆的长条孔中； 可调整横档包括中横架杆、弹簧片、簧片压条，弹簧片位于横架杆的前后两侧面，由簧片压条分别贴于弹簧片之外，通过固定件穿过簧片压条和弹簧片，与横架杆连接。2.如权利要求I所述的小尺寸基片真空镀膜载具，其特征在于所述的弹簧片包括横向基片和若干个从横向基片上向外延伸弯折形成弹簧压齿。3.如权利要求I所述的小尺寸基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程攀高，路增雲，尤建发，
申请(专利权)人：宸阳光电科技厦门有限公司，
类型：实用新型
国别省市：