改良的真空镀膜机产品基片夹具制造技术

技术编号:7710662 阅读:287 留言:0更新日期:2012-08-25 08:08
本实用新型专利技术公开一种改良的真空镀膜机产品基片夹具,该夹具包括有夹紧于一框体之边框上的第一夹紧部、第二夹紧部和设置于第一夹紧部和第二夹紧部之间的连接板,其中,该第一夹紧部为倒U形,该第二夹紧部为W形,该第二夹紧部两侧分别设置有一稳固基片的凹部。藉此,通过将镀膜用基片夹具设置为W形,使“W”形夹具两侧凹部装载基片后,基片仍可保持在自然翘曲状态,无因弹压引起的弹力共振晃动,起到稳固基片作用,不会发生基片溅镀过程的掉片,破片现象。该夹具结构简单,可利用于立式真空镀机构产品载体上部和侧部对基片固定,且不受基片大小、厚度等因素影响限制。并镀膜完整,效率高,提高了产品合格率,增加了企业竞争力。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及夹具领域技术,尤其是指一种改良的真空镀膜机产品基片夹具
技术介绍
真空镀膜机在对基片镀膜时,需要将基片通过弹簧夹具夹紧于装载基片的框体上,但是,此类弹簧夹具会给基片施加一定的弹压力,当基片较簿时,因基片本身已有一定自然翘曲度,加上弹簧夹的弹压力会使翘曲度变大,台车行进过程轻微晃动亦很容易发生掉片的问题。从而,使镀膜过程变得缓慢,且经常因镀膜不均匀和产品裂、掉片而使镀膜产品不合格率上升,增加厂家成本。因此,应对现有真空镀膜机夹具结构进行改良。
技术实现思路
有鉴于此,本技术针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种改良的真空镀膜机产品基片夹具,其能有效解决现有台车使用弹簧夹具会给基片施加一定的弹压力,使台车行进过程轻微晃动亦很容易将镀膜由基片上抖落的问题。为实现上述目的,本技术采用如下之技术方案一种改良的真空镀膜机产品基片夹具,该夹具包括有夹紧于一框体之边框上的第一夹紧部、第二夹紧部和设置于第一夹紧部和第二夹紧部之间的连接板,其中,该第一夹紧部为倒U形,该第二夹紧部为W形,该第二夹紧部两侧分别设置有一稳固基片的凹部。本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知,通过将镀膜用基片夹具设置为W形,使“W”形夹具两侧凹部装载基片后,基片仍可保持在自然翘曲状态,无因弹压引起的弹力共振晃动,起到稳固基片作用,不会发生基片溅镀过程的掉片,破片现象。藉此,该夹具结构简单,可利用于立式真空镀机构产品载体上部和侧部对基片固定,且不受:基片大小、厚度等因素影响限制。并锻I旲完整,效率闻,提闻了产品合格率,增加了企业竞争力。为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效,以下结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。附图说明图I为本技术较佳实施例之夹具主视示意图;图2为本技术较佳实施例之夹具左视示意图;图3为本技术较佳实施例之夹具俯视示意图;图4为本技术较佳实施例之框体示意图;图5为本技术较佳实施例之基片示意图。附图标识说明10、第一夹紧部11、倒U形槽20、第二夹紧部21、凹部30、连接板40、基片50、框体51、边框。具体实施方式本技术如图I至图5所示,包括有第一夹紧部10、第二夹紧部20和设置于第一夹紧部10和第二夹紧部20之间的连接板30。该第一夹紧部10夹紧于一边框51上,其为倒U形,该倒U形槽11宽度与镀膜用框体50之边框51宽度相匹配。该第二夹紧部20为W形,镀膜用两基片40分别安装于该W形第二夹紧部两侧凹部21,使“W”型夹具两侧凹部21装载基片40后,基片40仍可保持在自然翘曲状态,无因弹压引起的弹力共振晃动,起到稳固基片40作用,不至发生基片40溅镀过程的掉片,破片现象。该连接板30设置于第一夹紧部10和第二夹紧部20之间,以使第一夹紧部10和第二夹紧部20连接在一起。本技术的设计重点在于,通过将镀膜用基片夹具设置为W形,使“W”形夹具两侧凹部装载基片后,基片仍可保持在自然翘曲状态,无因弹压引起的弹力共振晃动,起到稳固基片作用,不会发生基片溅镀过程的掉片,破片现象。藉此,该夹具结构简单,可利用于立式真空镀机构产品载体上部和侧部对基片固定,且不受基片大小、厚度等因素影响限制。并镀膜完整,效率高,提高了产品合格率,增加了企业竞争力。 以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非对本技术的技术范围作任何限制,故凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何细微修改、等同变化与修饰,均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.ー种改良的真空镀膜机产品基片夹具,其特征在于该夹具包括有夹紧于一框体之边框上的第一夹紧部、第二夹紧部和设置于第一夹紧...

【专利技术属性】
技术研发人员:程攀高
申请(专利权)人:宸阳光电科技厦门有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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