【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种透明性、气体遮断性等各种特性优异的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的氧化物薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。更详细而言，涉及这些各种特性优异，尤其适合作为液晶显示器、有机EL显示器、等离子显示器或太阳能电池模块等气体遮断性材料的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的氧化物薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。
技术介绍
液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备通常经不起湿气，使其特性因吸湿而迅速地劣化，所以必须配备具有高防湿性、即防止氧气或水蒸气等渗透或浸入的气体遮断性的组件。例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面的相反ー侧的背面设置有背板。该背板代表性的有在基材上包含具有高防湿性的气体遮断性材料和保护它们的部件等的背板。作为这种构成太阳能电池模块的背板，例如公开有通过高强度的耐热性、耐候性树脂夹层防湿性金属箔，另外在其一方设置玻璃质蒸镀皮膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材料(例如參考专利文献I)。在该片材料中，使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔作为气体遮断性材料。此...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：有泉久美子，吉田勇气，樱井英章，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：
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