压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架技术

本发明专利技术公开了压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架。该压电元件的制造方法能够在压电元件的外围端面上容易地且可靠地形成聚合物涂层而不降低压电元件的产出。该方法包括以下步骤：从基体压电材料板切割压电元件，由此形成外围端面来定义压电元件的外围形状；和通过气相沉积聚合分别在压电元件的外围端面的至少目标区域上形成聚合物涂层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可根据施加电压产生变形的压电元件的制造方法，制造出来的压电元件，具有压电元件的压电致动器和具有压电致动器的头悬架。
技术介绍
小型、精度信息设备的研制在快速发展中，为了使用这种设备，在非常小距离上能够进行定位控制的微致动器的需求在提高。特别是在例如校正焦距和倾斜角的光学系统、控制喷墨头的喷墨打印机和控制磁头的磁盘驱动器中非常需要这种微致动器。通过增加每英寸轨道(TPI)数，也即缩短磁盘上每个轨道的宽度，磁盘驱动器可增加存储容量。因此，大容量磁盘驱动器需要能够在横跨轨道的细微范围内精确地定位磁头的致动器。为了满足这个需要，日本待审专利申请No. 2002-184140公开了具有双致动器系统的头悬架。这个双致动器系统利用了除普通音圈马达外的压电致动器，该音圈马达将滑动架驱动到头悬架连接的位置处。压电致动器包括排列在基板和头悬架的载荷横梁之间的压电单元。根据这个现有技术，音圈驱动马达在滑动架上挪动头悬架，此外，压电元件根据施加的电压成比例地产生变形，从而在相对于基板的摆动方向(载荷横梁的宽度方向)上细微地移动载荷横梁的前端处的磁头。涉及音圈马达和压电元件的双致动器系统能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野岛晃，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：