下载压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架的技术资料

文档序号:7580794

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本发明公开了压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架。该压电元件的制造方法能够在压电元件的外围端面上容易地且可靠地形成聚合物涂层而不降低压电元件的产出。该方法包括以下步骤:从基体压电材料板切割压电元件,由此形成外围端面来定义压电元件...
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