【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜装置,尤其是一种CVD镀膜装置。
技术介绍
在气相化学沉积(CVD)镀膜的工艺当中,气体中反应气体的浓度以及杂质气体的浓度,对于被镀基板表面的电流分布、析出特性等都有重要影响,进而影响到镀膜与基板之间的结合强度、膜厚度的均一性、膜的导电、硬度等种种性能。总之,CVD成膜的质量在很大程度上取决于对气体的成分-也即反应气体的浓度以及杂质气体浓度的精确控制上。现行技术中往往根据经验定期更换镀膜处理腔室中的气体以避免反应气体浓度降低和杂质气体浓度升高导致的镀膜性质变差。然而一方面,这样往往难以及时反应镀膜过程中气体的实际情况,从而造成不能将气体保持在各成分的最适宜浓度,导致镀膜质量不佳,另一方面,根据经验定期更换气体还会造成不必要的浪费,例如反应气体原本处于尚佳的浓度状态,能够顺利实施镀膜,但由于到了更换时限又不了解气体情况还是会更换气体。因此,开发一种能够对气体中各成分实施实时检测的CVD镀膜装置,将不但能够显著提高镀膜的质量,还能大幅降低生产成本。
技术实现思路
本技术的目的即在于提供一种能够实时检测气体中各成分浓度的CVD镀膜直ο本技术所采用的技术方案如下一种CVD镀膜装置,其具有镀膜腔室,其特征在于所述镀膜腔室的至少一部分由有机薄膜构成,所述有机薄膜的厚度在100-200μπι之间;在所述有机薄膜处设有X射线发射部件和X射线检测部件,所述X射线发射部件相对于所述有机薄膜倾斜设置使得其射出的X射线与所述有机薄膜形成夹角α,且20° < α < 70°,所述X射线检测部件与所述有机薄膜平行设置。本技术镀膜腔室处有机薄膜的设置正是为 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1. 一种CVD镀膜装置,其具有镀膜腔室,其特征在于所述镀膜腔室的至少一部分由有机薄膜构成,所述有机薄膜的厚度在100-200 μ m之间;在所述有机薄膜处设有X射线发射部件和X射线...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆剑飞,
申请(专利权)人:宁波高新区智胜技术服务有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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