光学透明粘结剂、切割芯片接合膜和半导体器件制造技术

本发明专利技术公开了一种用于切割芯片接合膜的光学透明粘结剂。所述光学透明粘结剂包括具有磷酸酯基和/或硅烷基的丙烯酸共聚物。所述光学透明粘结剂具有对环形框架提高的粘附力，并展示出高拾取成功率。本发明专利技术还提供了一种包括所述光学透明粘结剂的切割芯片接合膜和半导体器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于切割芯片接合膜的光学透明粘结剂。更具体地，本专利技术涉及用于切割芯片接合膜的光学透明粘结剂，所述光学透明粘结剂包括具有磷酸酯基和/或硅烷基的丙烯酸共聚物，以提高对环形框架的粘附力并实现高拾取成功率。
技术介绍
切割芯片接合膜用于半导体器件的制造过程中。这种切割芯片接合膜根据它们是否需要UV照射而分成光固化膜和非UV照射型膜。光固化膜因其在光固化前的高粘性而适用于切割工序。然而，对于切割后的拾取工序应该用UV照射光固化膜。UV照射在加工方面容易发生故障。另一问题在于，光固化膜在未提供足够的UV能量时，可能会在拾取过程中产生缺陷。相比之下，非UV照射型膜不会遭受与UV照射相关的发生故障问题。至今为止开发的切割膜具有对环形框架的粘附力差的问题。为了试图补偿常规切割膜的低粘结强度， 高度粘结膜被粘贴到切割膜将贴附环形框架的部分，这容易发生故障。因此，需要开发非UV照射型切割芯片接合膜，消除在半导体器件的制造中对容易发生故障的UV照射的需要，且不需要粘贴其它高度粘结膜。
技术实现思路
本专利技术的一个方面提供一种光学透明粘结剂。在一个实施方式中，所述光学透明粘结剂可包括具有烷基、羟基和选自由磷酸酯基和硅烷基组成的组中的至少一个基团的丙烯酸共聚物；和固化剂。本专利技术的另一个方面提供一种切割芯片接合膜。在一个实施方式中，所述切割芯片接合膜可包括基膜、形成在所述基膜上的光学透明粘结剂层和形成在所述光学透明粘结剂层上的接合层，其中所述光学透明粘结剂层由光学透明粘结剂形成。本专利技术的又一个方面提供一种使用前述切割芯片接合膜的半导体器件。所述切割芯片接合膜的所述接合层粘贴到晶圆的一侧，且所述切割芯片接合膜的所述光学透明粘结剂层固定在环形框架上。附图说明结合以下附图，本专利技术的艺术和其他方面、特征和优点将变得明显，其中图1示出了根据本专利技术示例性实施方式的切割芯片接合膜。图2示出了根据本专利技术示例性实施方式的切割芯片接合膜和层压在该切割芯片接合膜上的环形框架。具体实施例方式本专利技术的各方面提供一种光学透明粘结剂，包括具有烷基、羟基和选自由磷酸酯基和硅烷基组成的组中的至少一个基团的丙烯酸共聚物；和固化剂。丙烯酸共聚物丙烯酸共聚物可具有烷基、羟基和选自由磷酸酯基和硅烷基组成的组中的至少一个基团。丙烯酸共聚物在25°C可具有4000至lOOOOOcps的粘度。烷基、羟基以及磷酸酯基或硅烷基的排列顺序没有具体限定，且可适当改变。相同的基团在丙烯酸共聚物上可连续排列。上述丙烯酸共聚物可为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯和具有至少一个磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的共聚物。上述丙烯酸共聚物可通过将具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯与具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚以制备基体接合剂，并使该基体接合剂与具有至少一个硅烷基的化合物反应来制备。上述丙烯酸共聚物可为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯和具有至少一个硅烷基的(甲基)丙烯酸酯的共聚物。具有羟基的(甲基)丙烯酸酯可指具有羟基且可与具有烷基的(甲基)丙烯酸酯、具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯或具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚的单体。具有羟基的(甲基)丙烯酸酯可选自由(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸-4-羟丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸-6-羟己酯、 1，4_环己烷二甲醇单(甲基)丙烯酸酯、1-氯-2-羟丙基(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇单 (甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇单(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇单(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷二(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、4-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基(甲基)丙烯酸酯、环己烷二甲醇单(甲基)丙烯酸酯和它们的混合物组成的组，但不限于此。具有烷基的(甲基)丙烯酸酯可包括在其酯部分上具有C1 C2tl直链或支链烷基的(甲基)丙烯酸的酯。具有烷基的(甲基)丙烯酸酯可选自由(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯和它们的混合物组成的组，但不限于此。具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯可指具有磷酸酯基且可与具有羟基的(甲基) 丙烯酸酯、具有烷基的(甲基)丙烯酸酯、或具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚的单体。在本文中使用的术语“磷酸酯基”可指-O-P ( = 0) (OH) 2或-O-P ( = 0) (ORl) (0R2) (其中，Rl和R2各自独立地为氢、C1 Cltl烷基或C6 C2tl芳基)。优选地，Rl和R2各自独立地为氢或C1-C4烷基。具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯可具有通式1的结构CH2 = CR-C ( = 0)0-(CH2) m-0_P( = 0) (ORl) (0R2) (1)其中，R为-H或-(CH2)n-CH3, η为0至5的整数，Rl和R2各自独立地为氢、C1 C10烷基或C6 C2tl芳基，且m为1至10的整数。具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的非限制性实例可为乙二醇(甲基)丙烯酸酯磷酸酯。在本文中使用的术语“硅烷”可指-Si (Rl) (R2)(旧)(其中，R1、R2和R3各自独立地为氢X1 Cltl烷基、C6 C2tl芳基或C1 Cltl烷氧基)。优选地，R1、R2和R3各自独立地为C1 C4烷氧基。具有硅烷基的化合物可与通过具有羟基的(甲基)丙烯酸酯和具有烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚而制备的基体接合剂的羟基成键。具有硅烷基的化合物可包括具有硅烷基的异氰酸酯化合物、具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯或它们的混合物。具有硅烷基的异氰酸酯化合物可指包括硅烷基且具有可与具有羟基、烷基或磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯共聚的异氰酸酯基的单体。具有硅烷基的异氰酸酯化合物可选自由3-异氰酸丙基三乙氧基硅烷、3-异氰酸丙基三甲氧基硅烷和它们的混合物组成的组，但不限于此。优选地，具有硅烷基的化合物为 3-异氰酸丙基三乙氧基硅烷。具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯可指具有硅烷基且可与具有羟基的(甲基)丙烯酸酯或具有烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚的单体。例如，具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯可具有通式2的结构CH2 = CR-C ( = 0) 0- (CH2) m_Si (Rl) (R2) (R3) (2)其中，R为-H或-(CH2)n-CH3, η为0至5的整数，Rl、R2和R3各自独立地为氢、C1 Cltl烷基、C6 C2tl芳基或C1 Cltl烷氧基，且m为1至10的整数。优选地，通式2中的Rl、R2和R3各自独立地为C1 C4烷氧基。例如，具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯可为甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷或 Y -甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷。基于100重量份的丙烯酸共聚物，具有磷酸酯基的丙烯酸共聚物可包括10至50 重量份的具有羟基的(甲基)丙烯酸酯。在此范围本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2010.12.30 KR 10-2010-0139675;2010.12.30 KR 10-2011.一种光学透明粘结剂，包括具有烷基、羟基和选自由磷酸酯基和硅烷基组成的组中的至少一个基团的丙烯酸共聚物；和固化剂。2.根据权利要求1所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯和具有至少一个磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的共聚物。3.根据权利要求2所述的光学透明粘结剂，其中，所述具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯具有通式1的结构CH2 = CR-C ( = 0)0-(CH2) m-0-P( = 0) (ORl) (0R2) (1)其中，R为-H或-(CH2)n-CH3, η为0至5的整数，Rl和R2各自独立地为氢、C1 Cltl烷基或C6 C2tl芳基，且m为1至10的整数。4.根据权利要求3所述的光学透明粘结剂，其中，所述具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯为乙二醇(甲基)丙烯酸酯磷酸酯。5.根据权利要求2所述的光学透明粘结剂，其中，基于100重量份的所述丙烯酸共聚物，所述具有磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的含量为0. 1至10重量份。6.根据权利要求1所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物通过将具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯与具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯共聚以制备基体接合剂，并使所述基体接合剂与具有至少一个硅烷基的化合物反应来制备。7.根据权利要求1所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯和具有至少一个硅烷基的(甲基)丙烯酸酯的共聚物。8.根据权利要求7所述的光学透明粘结剂，其中，所述具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯具有通式2的结构CH2 = CR-C ( = 0)0-(CH2)m-Si (Rl) (R2) (R3) (2)其中，R为-H或-(CH2)n-CH3,η为0至5的整数，Rl、R2和R3各自独立地为氢、C1 C10 烷基、C6 C2tl芳基或C1 Cltl烷氧基，且m为1至10的整数。9.根据权利要求7所述的光学透明粘结剂，其中，所述具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯、具有烷基的(甲基)丙烯酸酯和具有羟基的(甲基)丙烯酸酯的摩尔比为3 5. 5 65. 5 73 24 29。10.根据权利要求7所述的光学透明粘结剂，其中，基于100重量份的所述丙烯酸共聚物，所述具有硅烷基的(甲基)丙烯酸酯的含量为3至10重量份。11.根据权利要求1所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物进一步具有选自由环氧基和羧基组成的组中的至少一种基团。12.根据权利要求11所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个磷酸酯基的(甲基)丙烯酸酯和选自由具有至少一个环氧基的不饱和环氧化合物和具有至少一个羧基的(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少一种单体的共聚物。13.根据权利要求11所述的光学透明粘结剂，其中，所述丙烯酸共聚物为具有至少一个羟基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个烷基的(甲基)丙烯酸酯、具有至少一个硅烷基的(甲基)丙烯酸酯和选自由具有至少一个环氧基的不饱和环氧化合物和具有至少一个羧基的(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少一种单体的共聚物。14.根据权利要求11所述的光学透明粘结剂，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：河京珍，朴白晟，金志浩，黃珉珪，李吉成，
申请(专利权)人：第一毛织株式会社，
类型：发明
国别省市：