【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】 一种芯片上的球形光学微腔,其特征在于:所述球形光学微腔由锥形硅支撑。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】 技术研发人员:姜校顺,华士跃,肖敏, 申请(专利权)人:南京大学, 类型:发明 国别省市:
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