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芯片上的球形光学微腔及其制备方法技术

技术编号:8209881 阅读:274 留言:0更新日期:2013-01-17 01:48
本发明专利技术公开了一种芯片上的球形光学微腔,所述球形光学微腔由锥形硅支撑。与现有技术相比,本发明专利技术的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、易于集成和保存。本发明专利技术还公开了芯片上的球形光学微腔的制备方法,制备方法简单,制得的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、品质因子高、易于集成和保存。?

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种芯片上的球形光学微腔,其特征在于:所述球形光学微腔由锥形硅支撑。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:姜校顺华士跃肖敏
申请(专利权)人:南京大学
类型:发明
国别省市:

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