【技术实现步骤摘要】
光学指纹传感器芯片光栅
本技术涉及一种光学指纹传感器芯片,尤其涉及一种光学指纹传感器芯片光栅。
技术介绍
如图1、图2所示,光学指纹传感器采用小孔成像的原理,需要在每个像素上做成光栅,从而满足小孔成像的条件。 现有技术中,都是需制作单独的光栅。结构复杂、精度低。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、精度高的光学指纹传感器芯片光栅。 本技术的目的是通过以下技术方案实现的: 本技术的光学指纹传感器芯片光栅,在光学指纹传感器芯片感光单元的晶圆上直接生成光栅,感光单兀对应开孔,电路部分被覆盖。 由上述本技术提供的技术方案可以看出,本技术实施例提供的光学指纹传感器芯片光栅,由于直接在光学指纹传感器芯片感光单元的晶圆上直接生成光栅,感光单元对应开孔,电路部分被覆盖,结构简单、精度高,芯片可以直接使用。 【附图说明】 图1为光学指纹传感器像素中光栅的结构示意图; 图2为小孔成像原理图; 图3-1为本技术实施例中感光单元加工完的晶圆示意图; 图3-2为本技术实施例中CVD方法生成透明的二氧化硅膜示意图; 图3-3为本技术实施例中SPUTTER溅射方法生成不透明的金属膜示意图; 图3-4为本技术实施例中PR光刻方法露出将需要透光的区域示意图; 图3-5为本技术实施例中经过干法刻蚀后将透光的区域打开,在芯片上做出光栅不意图; 图3-6为本技术实施例中CVD的方法在芯片的表面生成透明的保护膜示意图。 图中:1、物体(手指),2、光栅单元,3、芯片的感光单元。 【具体实施方式】 下面将对本技术实施例作进一步地详细描 ...
【技术保护点】
一种光学指纹传感器芯片光栅,其特征在于,在光学指纹传感器芯片感光单元的晶圆上直接生成光栅,感光单元对应开孔,电路部分被覆盖。
【技术特征摘要】
1.一种光学指纹传感器芯片光栅,其特征在于,在光学指纹传感器芯片感光单元的晶圆上直接生成光栅,感光单元对应开孔,电路部分被...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯建中,
申请(专利权)人:北京思比科微电子技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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