【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种曝光设备,具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。该曝光机包括机架、遮光罩、电控箱体、丝杠、柱面体棱镜、高压紫外线汞灯、灯盒、丝杠支撑座、导轨、透光支撑玻璃板和散热风扇,本专利技术主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题,同时解决曝光长尺和一次多件曝光问题,提供一种结构简单合理、可实现高脉冲码盘的大批量生产,降低费品率,工作效率高。【专利说明】光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机
本专利技术涉及一种曝光设备,具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。
技术介绍
随着现代工业的高速发展,市场对光学传感器的需求快速增加,从技术要求上精度越来越高,同时也对生产能力提出了更高要求。曝光机主要用于精密蚀刻中的曝光制版,获得较高双面曝光精度和良好效果,为蚀刻做好前道精密曝光制版工作。目前市场上使用的曝光机多为厂家自制的曝光设备,工作效率低,一次曝光一件,曝光精度低,制作不出高精度的光学器件。
技术实现思路
本专利技术的目的主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透光和不透光比例不均匀问题,同时解决 ...
【技术保护点】
一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机,其特征在于:该曝光机包括机架(1)、遮光罩(2)、电控箱体(3)、丝杠(4)、柱面体棱镜(5)、高压紫外线汞灯(6)、灯盒(7)、丝杠支撑座(8)、导轨(9)、透光支撑玻璃板(10)和散热风扇(11),所述的遮光罩(2)罩在机架(1)的外面,所述的透光支撑玻璃板(10)水平设置在机架(1)的台面上,在机架(1)上的两根平行导轨(9)设置在透光支撑玻璃板(10)的下方,机架(1)上的丝杠(4)设置在两根平行导轨(9)的中间,丝杠支撑座(8)与丝杠(4)螺纹连接,在丝杠支撑座(8)上设置有两个立柱(12),连接灯盒(7)的高压紫外线汞 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:倪国东,
申请(专利权)人:长春荣德光学有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。