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光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机制造技术
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文档序号:9857715
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本发明涉及一种曝光设备,具体的说是一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机。该曝光机包括机架、遮光罩、电控箱体、丝杠、柱面体棱镜、高压紫外线汞灯、灯盒、丝杠支撑座、导轨、透光支撑玻璃板和散热风扇,本发明主要解决光栅尺和高脉冲光学码盘码道透...
该专利属于长春荣德光学有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长春荣德光学有限公司授权不得商用。
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