机器人示教装置及机器人示教方法制造方法及图纸

一种机器人的示教方法，所述机器人用机械手支撑运送物，并在两处以上的交接地点之间进行运送，所述示教方法具备：夹具配置工序，将定位夹具配置在所述交接地点，并使所述定位夹具与配置在所述交接地点时的所述运送物同一中心轴；以及示教工序，在各所述交接地点，使所述机械手运动至所述机械手的抵接部与所述定位夹具相抵接的位置，并对控制器示教所述机械手的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对运送用机器人示教动作的机器人示教方法及机器人示教装置， 详细而言涉及一种在短时间内准确地进行机器人的示教的技术。本申请基于2009年06月30日在日本提出申请的特愿2009-155723号要求优先权，并且在此援引其内容。
技术介绍
用于基板运送的运送用机器人等工业用机器人通过规定的动作程序来驱动。在该动作程序的生成时，被称为示教人的技术人员实际使机器人的可动部例如机械臂、机械手等按照所希望的动作运动(示教)。例如，对于在多室型真空装置中运送基板的机器人，示教机械手至停止位置的行程、机械手在停止位置的角度及高度。然后，通过将机器人的可动部的行程或角度数值化并输出的编码器，检测机械手至停止位置的行程、机械手在停止位置的角度及高度，并将其结果记录于控制器中。然后， 基于所记录的数据生成机器人的动作程序。在机器人动作时，基于所生成的动作程序使可动部运动。以往，在示教使例如晶圆等圆盘状的基板在多个交接地点之间移动的运送用机器人时，在用于支撑基板的机械手上载置模拟基板，并且利用机械手上所形成的开口等，用销等在各交接地点上固定圆盘状的夹具。然后，在该夹具中央设置孔等标志，并通过对标志照射激光等方法检测标志，以示教机械手在各交接地点的停止位置，例如交接位置(例如专利文献1)。专利文献1 特开2009-00似64号公报然而，用激光调整示教所使用的夹具的设置位置的方法需要激光光源和用于检测激光的部件(装置)，具有示教所需设备的成本增加的问题。此外，需要调整激光的投光位置，还具有在实际进行示教之前的安装花费时间的问题。进一步，由于是基于设置在机械手上的标志，例如孔或突起的位置来确定基板的中心轴，因此具有示教所使用的夹具的设置位置的定位精度下降的问题。例如，在难以设置表示载置于机械手上的基板位置的中心的孔或突起等的定位标志时，需要对机械手形成多个标志，并以这多个标志为基准设置具有中心标志的夹具。因此，具有示教所使用的夹具的设置位置的定位精度下降的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种机器人示教方法及机器人示教装置，该方法及装置用简单的结构，在短时间内以高精度示教用于运送大致圆盘状运送物的运送用机器人。为了解决上述问题，提供如下的机器人的示教方法及机器人的示教装置。本专利技术的一实施方式所涉及的机器人的示教方法，所述机器人用机械手支撑运送物，并在两处以上的交接地点之间进行运送，所述示教方法具备夹具配置工序，将定位夹具配置在所述交接地点，并使所述定位夹具与载置于所述交接地点时的所述运送物同一中心轴；以及示教工序，在各所述交接地点，使所述机械手运动至所述机械手的抵接部与所述定位夹具相抵接的位置，并对控制器示教所述机械手的位置。(2)所述抵接部可利用在所述定位夹具的中心轴与当被所述机械手支撑时的所述运送物的中心轴重叠的位置上与所述定位夹具的周面相抵接的表面。(3)将所述定位夹具配置在所述交接地点时，可利用将所述定位夹具引导至所述定位夹具的中心轴与所述运送物的中心轴重叠的位置的标志。(4)可将所述交接地点设为在多个机器人之间授受所述运送物的地点。(5)所述机器人可由伺服电动机驱动。(6)所述机器人可通过同心双轴电动机进行伸缩运动及旋转运动。(7)本专利技术的一实施方式所涉及的机器人的示教装置具备机器人，由具有抵接面的机械手支撑运送物，并在两处以上的交接地点之间运送所述运送物；编码器，与所述机器人连接，以获得有关所述机器人的信息；控制器，基于由所述编码器获得的信息，计算所述机械手的位置，以生成机器人的示教数据；以及定位夹具，以当抵接于所述机械手的所述抵接面时，与载置于所述交接地点时的所述运送物同一中心轴的方式配置在所述转移地点ο(8)所述机器人可为真空运送机器人。(9)所述定位夹具的周面的至少一部分可具有曲面形状，所述机械手的所述抵接面可至少在三处与所述定位夹具的周面相抵接。(10)所述机械手的所述抵接面可为与所述定位夹具中相抵接的周面具有相同曲率的曲面。(11)可在所述定位夹具的一面上形成突部，在所述交接地点的一面上形成与所述突部结合的凹部。(12)可在所述定位夹具的一个面上形成突出的周壁面，在所述定位夹具的另一个面上形成具有与所述机械手的所述抵接面相抵接的周面的突出部，在将所述定位夹具配置在所述交接地点的状态下，所述交接地点收纳于由所述周壁面形成的凹部内。根据本专利技术的一实施方式所涉及的机器人示教方法及机器人示教装置，能够生成可准确无误地运送运送物的机器人的驱动程序。另外，在进行上述示教时，即使不采用如以往那样使用激光配置在表示机械手的停止位置的标志交接位置等花费工夫和时间的方法，仅通过将定位夹具配置在交接地点上，能够容易地将定位夹具设置在交接地点的中心。附图说明图1是表示运送用机器人的第一结构例的俯视图。图2A是表示运送用机器人的动作的侧视图。图2B是表示运送用机器人的动作的俯视图。图2C是表示运送用机器人的动作的俯视图。图3是表示构成机器人的机械手的放大俯视图。图4是表示将定位夹具配置在交接地点的状态的剖视图。图5A是表示本专利技术的第一实施方式所涉及的机器人示教方法的示意图。图5B是沿图5A的中心线的剖视图。图5C是表示同一个实施方式所涉及的机器人示教方法的说明图。图5D是表示同一个实施方式所涉及的机器人示教方法的说明图。图6是表示本专利技术的第二实施方式所涉及的机器人示教方法的结构例的俯视图。图7是表示本专利技术的第三实施方式所涉及的机器人示教方法的结构例的俯视图。图8A是表示本专利技术的第四实施方式所涉及的机器人示教方法的结构例的俯视图。图8B是图8A的剖视图。图9A是表示本专利技术的第五实施方式所涉及的机器人示教方法的结构例的俯视图。图9B是图9A的剖视图。图10是表示本专利技术的第六实施方式所涉及的机器人示教方法的结构例的剖视图。图11是表示能够适用本专利技术的机器人示教方法的机器人的第二结构例的俯视图。图12是表示能够适用本专利技术的机器人示教方法的机器人的第三结构例的俯视图。具体实施例方式下面，基于附图说明本专利技术的实施方式所涉及的运送用机器人示教方法及机器人示教装置。另外，这些实施方式是为了更好地理解专利技术宗旨而举例说明的内容，若没有特别的指定，并非用来限制本专利技术。此外，在以下说明中采用的附图中，为了便于理解本专利技术的特征，为了方便有时放大显示了作为主要部分的部分，各结构要素的尺寸比例等并不一定与实际相同。图1是具备进行示教的运送用机器人的真空装置的第一结构例的俯视图。多室型的真空装置10具有运送室11，在该运送室11的内部配置有运送用机器人 20。该运送用机器人20例如运送在真空装置10内进行处理的大致圆盘状的基板15。在运送室11的周围连接有送入室12、送出室13以及多个处理室14a、14b、14C、 14D。通过运送用机器人20，能够使作为运送物的基板15在各室11 13、Ha 14d之间移动。图2A是运送用机器人20的侧视图。图2B及图2C是从运送室11的天花板侧俯瞰的俯视图。运送用机器人20具有旋转轴30、第一主动臂21a、第二主动臂21b、第一从动臂22a、第二从动臂22b、机械手23以及上下移动装置M。旋转轴30具备外筒30a、配置在该外筒30a的内部的内筒30b。外筒30a和内筒 3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井佳词，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：