一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，包括内部装有清洗液的清洗槽、安装在清洗槽内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽内，且安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设。本实用新型专利技术结构简单、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解决现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等多种实际问题。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种清洗装置，尤其是涉及一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽。
技术介绍
目前，对硅棒粘接过程中所使用的托板(即粘棒托板)进行清洗，通常均在超声清洗槽中进行清洗，上述粘棒托板通常为玻璃板。但是，采用上述超声清洗槽对托板进行清洗时，由于被清洗的托板无法在槽体中进行固定，因而只能沿槽体的对角线放置。这样，实际采用此种沿槽体对角线对托板进行放置时，一次性在槽体中所放置的托板数量有限，能一次同时放入槽体内的托板数量不多，因而没有最大化的利用超声槽，造成较大的资料浪费， 并且在一定程度上增加了公司的生产成本。同时，采用上述放置方式进行清洗时，不可避免地会发生托板之间相互碰撞并导致托板被撞裂的问题，并且清洗效果不佳，严重影响后续生产工序，具体体现在使得硅棒在粘接过程中不能牢固地粘在工件上，影响后端的切割质量。同时，更为生产区的5S管理带来比较棘手的问题。另外，采用沿槽体对角线放置托板时，需耗费较多时间去找合适的放置，因而清洗效率较低，且其在现阶段高质量、高效的生产模式中使用时效果不是很理想。综上，采用现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等多种实际问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其结构简单、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解决现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等实际问题。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于包括内部装有清洗液的清洗槽、安装在清洗槽内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽内。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述超声波清洗装置包括用于产生高频振荡信号的超声波发生器和将超声波发生器输出的高频振荡信号转换成高频机械振荡运动并传播至清洗液的超声波换能器，所述超声波发生器布设在清洗槽外侧且其与超声波换能器之间通过连接线进行连接，所述超声波换能器布设在清洗槽的内壁上。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述安装支架包括布设在清洗槽底部的水平底板和多个平行安装在水平底板上且对所述托板进行夹持的夹持装置，多个所述夹持装置的结构均相同，安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设， 且相邻两个所述托板之间的间距与相邻两个所述夹持装置的间距相同。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述夹持装置为由前后两块夹板组成的夹子，两块所述夹板呈平行布设且二者的结构和尺寸均相同，两块所述夹板之间的间隙宽度与所述托板的厚度一致。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是多个所述夹持装置的结构和尺寸均相同。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是多个所述夹持装置呈均勻布设。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述清洗槽为矩形槽，所述矩形槽的内腔长度不小于所述托板的长度，且所述矩形槽的内腔宽度 D ^ ηXd^(H-I) Xd2，式中Cl1为所述夹持装置的横向宽度，d2为相邻两个所述夹持装置之间间隙的宽度。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述夹板为长条状板。上述一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征是所述清洗槽包括橡胶质槽体或金属质槽体，所述橡胶质槽体或金属质槽体的底部设置有排水口。本技术与现有技术相比具有以下优点1、结构简单、制作成本低且加工制作方便。2、使用操作简便且托板的放置方便，省时省力。3、内部所布设的安装支架结构设计合理且经济实用，具体采用多个夹持装置对多个托板同时进行夹持固定，且夹持固定后的多个托板呈平行布设，并保持固定间距，因而能有效防止在超声清洗过程中导致托板撞裂的现象发生；同时，采用安装支架后，一次性所放入的托板数量增多，因而能充分且最大化地利用清洗槽内的清洗空间。4、清洗速度快且清洗效果好，经济效益显著，能克服现有硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽不能最大化放置托板的问题，本技术不仅可实现最大化利用超声清洗空间，增多所放置托板的数量，节约工时；还可以通过安装支架实现托板的定位放置，避免了托板被撞裂的现象。综上所述，本技术结构简单、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解决现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等多种实际问题。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1为本技术的结构示意图。附图标记说明1-清洗槽；2-1-水平底板； 2-2-夹子；3-1-超声波发生器；3-2-超声波换能器；4-连接线。具体实施方式如图1所示，本技术包括内部装有清洗液的清洗槽1、安装在清洗槽1内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽1内。本实施例中，所述超声波清洗装置包括用于产生高频振荡信号的超声波发生器 3-1和将超声波发生器3-1输出的高频振荡信号转换成高频机械振荡运动并传播至清洗液的超声波换能器3-2，所述超声波发生器3-1布设在清洗槽1外侧且其与超声波换能器3-2 之间通过连接线4进行连接，所述超声波换能器3-2布设在清洗槽1的内壁上。实际加工制作时，所述安装支架包括布设在清洗槽1底部的水平底板2-1和多个平行安装在水平底板2-1上且对所述托板进行夹持的夹持装置，多个所述夹持装置的结构均相同，安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设，且相邻两个所述托板之间的间距与相邻两个所述夹持装置的间距相同。本实施例中，所述夹持装置为由前后两块夹板组成的夹子2-2，两块所述夹板呈平行布设且二者的结构和尺寸均相同，两块所述夹板之间的间隙宽度与所述托板的厚度一致。实际制作夹子2-2时，先量取托板的厚度，相应制作一个可放入清洗槽1内且可卡住托板不来回的晃动的夹子2-2，每个夹子2-2的宽度要高于托板的宽度，根据清洗槽1的宽度和托板的厚度。便可计算出夹子2-2的内部间隙和最大能放托板的数量。所述夹板与水平底板2-1之间呈倾斜布设。为加工制作方便，多个所述夹持装置的结构和尺寸均相同，因而一次清洗的多个托板的厚度均相同。本实施例中，多个所述夹持装置呈均勻布设。本实施例中，所述清洗槽1为矩形槽，所述矩形槽的内腔长度不小于所述托板的长度，且所述矩形槽的内腔宽度D SnXdi+fc-l) Xd2，式中Cl1为所述夹持装置的横向宽度， d2为相邻两个所述夹持装置之间间隙的宽度。实际加工制作时，所述清洗槽1包括橡胶质槽体或金属质槽体，所述橡胶质槽体或金属质槽体的底部设置有排水口，本实施例中，所述夹板为长条状板。所述矩形槽的长为 1.5m，宽为lm，高为lm，且其内部所设置夹持装置的数量为17个，所采用的清洗液为水。实际使用时，先将多个被清洗的托板分别夹装在多个所述夹持装置内，且夹持结束后，多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔺文，贺鹏，
申请(专利权)人：西安华晶电子技术股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：