温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，包括内部装有清洗液的清洗槽、安装在清洗槽内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽内，且安装在安装支架上的多个所述...
该专利属于西安华晶电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安华晶电子技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。