【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般地涉及电介质氧化物材料。
技术介绍
在相同或更小的占用空间中具有更大容量的集成电路正在被开发。在这样的电路中，通过使用高介电常数膜产生具有更高电容的栅氧化物绝缘子，可以增加晶体管驱动电流。
技术实现思路
提供了一种新电介质氧化物族，以及通过溶液化学途径制造这些氧化物的新工艺。该工艺可应用于将这些材料制造为大体积物体或膜或纤维。材料作为薄膜(< 10 μ m) 可找到立即应用，其可以被用在期望中等或高介电常数(κ >10)的应用中，或可以被用在期望与低色散结合的高折射率或中等折射率的应用中。在一个方面，提供了一种制造金属氧化物材料的方法。该方法包括a)从包括环氧化物、金属氧化物的前体、以及溶剂的混合物产生溶胶，以及b)从该溶胶制备金属氧化物材料。该前体可以是包括d0过渡金属离子的任何过渡金属离子的氧化物的前体，以及在具体实施例中，该前体是Ti(IV)、Zr(IV)、Hf(IV)、Nb(V)或Ta(V)的氧化物的前体。该前体可以是期望金属的醇盐或金属盐或与无机或有机配位体结合的金属离子。混合物还可以包括一种或多种其他金属氧化物的一种或多种前体...
【技术保护点】
１．一种制造金属氧化物材料的方法，包括：ａ）从包括环氧化物、金属氧化物前体以及溶剂的混合物中产生溶胶；以及ｂ）由所述溶胶制备金属氧化物材料。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：马克·菲利普斯，特拉维斯·托马斯，所罗·弗格森，
申请(专利权)人：SBA材料有限公司，
类型：发明
国别省市：US
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