【技术实现步骤摘要】
本技术属于扫描探针显微镜的样品处理
,具体涉及一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品。
技术介绍
扫描探针显微镜(SPM)以其当今最高的空间分辨率,在表面科技和纳米科技领域发挥出了不可替代的且至关重要的作用,但是也存在着一些的难题:一方面,当被扫描成像的样品是在空气中容易氧化的、活性较强的材料时,表面容易发生无规则的氧化变质,影响室温大气等常规环境下的SPM成像,如原子力显微镜、磁力显微镜等。此时,只能在高真空环境下进行测试。但是真空设备的价格很贵、体积很大、占用很多实验室的宝贵空间、操作流程很多、需要专门的技术人员等都是很大的难题。阻碍了纳米科技的发展和普及。另一方面,当用于测量电流的SPM,如扫描隧道显微镜(STM)或导电原子力显微镜(CAFM)时,导体样品易发生导体探针与导体样品间的短路,影响测量。为了克服上述样品易变质、样品与导电探针间易短路的的难题,在项目批准号为:11304082的国家自然科学基金“超快速扫描隧道显微镜的改进与应用”的支持下,本专利提出了一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供了一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品。本技术为解决上述技术问题采用如下技术方案,一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品,包括导体样品,其特征在于:所述导体样品的表面包覆有纳米级厚度的致密固态惰性膜。进一步优选,所述的固态惰性膜为固态惰性导电膜,该固态惰性导电膜的材质为黄金、铂金或石墨烯。进一步优选,所述导体样品的待测试面包覆的固态惰性膜为固态惰性电介质膜,该固态惰性电介质膜的 ...
【技术保护点】
一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品,包括导体样品,其特征在于:所述导体样品的表面包覆有纳米级厚度的致密固态惰性膜。
【技术特征摘要】
1.一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品,包括导体样品,其特征在于:所述导体样品的表面包覆有纳米级厚度的致密固态惰性膜。2.根据权利要求1所述的一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品,其特征在于:所述的固态惰性膜为固态惰性导电膜,该固态惰性导电膜的材质为黄金、铂金或石墨烯。3.根据权利要求1所述的一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品,其特征在于:所述导体样品的待测试面包覆的固态惰性膜为固态惰性电介质膜,该固态惰性电介质膜的材质为氯化钠、三氧化二铝、氮化硅、二氧化硅或聚四氟乙烯,导体样品的其余部分包覆的固态惰性膜为固态惰性导电膜。4.根据权利要求1所述的一种适用于扫描...
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