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新电介质氧化膜及其制造方法技术
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文档序号:7183464
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通过从金属氧化物前体、溶剂和环氧化物的混合物生产溶胶以及由该溶胶制备金属氧化物材料来制备电介质氧化物材料。在各种变型中,该混合物还可以包括共溶剂、一种或多种其他金属氧化物前体、水、或玻璃形成氧化物的前体或其任意组合。所制备的电介质氧化物材料...
该专利属于SBA材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SBA材料有限公司授权不得商用。
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