用于处理室的密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种密封装置。在一些实施方式中，密封装置包括环形体，该环形体包括具有圆形截面的第一部分和从该第一部分径向向外延伸的第二部分，其中该第二部分具有矩形截面。在一些实施方式中，密封装置包括：被配置成保持在第一表面的凹槽中的主体；臂，该臂自主体远离第一表面延伸，且被配置成当向主体偏转时通过第二表面提供力以在第一表面和第二表面之间形成密封。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理室的密封装置领域本专利技术的实施方式一般涉及真空处理室，且特别涉及到用于这类处理室的密封件。背景通常，通过包括在待接合(adjoin)的表面之间设置的密封垫、0型环或相似类型的密封件来防止在表面之间所形成的接合(joint)处发生泄漏。用足以压缩密封件并防止气流通过该密封接合处的力可将结合表面压向彼此。然而，在一些工艺中，诸如石英钟形罩之类的易碎部件必须与诸如排气歧管(manifold)这样的排气部件匹配，这里由于易碎部件而不可对密封剂施加较大的力。在这种情况中，由于部件制造和/或装配(assembly)中的偏差(tolerance)而可发生的不对准会引起由于施加到密封件的力的变化致使泄漏。例如在使用大密封表面的情况下，这种不对准会加重。如上所述，由于易碎部件导致不能通过对密封件施加较大压力来适当地补偿沿着密封表面的偏差变化。因此，由于密封件和密封表面之间的间隙或不充分接触可导致发生泄漏。因此，本领域需要一种改善的密封。概述在此提供一种密封装置。在一些实施方式中，密封装置包括环形体，该环形体包括具有圆形截面的第一部分和自第一部分向外径向延伸的第二部分，其中第二部分具有矩形截面。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种密封装置，包括：环形体，该环形体包括具有圆形截面的第一部分和从所述第一部分向外径向延伸的第二部分，其中所述第二部分具有矩形截面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫·尤多夫斯凯，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US