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用于处理室的密封装置制造方法及图纸
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下载用于处理室的密封装置的技术资料
文档序号:7157923
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本发明提供了一种密封装置。在一些实施方式中,密封装置包括环形体,该环形体包括具有圆形截面的第一部分和从该第一部分径向向外延伸的第二部分,其中该第二部分具有矩形截面。在一些实施方式中,密封装置包括:被配置成保持在第一表面的凹槽中的主体;臂,该...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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