【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种具备可在地面上移动的晶圆收纳装置和设置在地面且可连结于所述晶圆收纳装置的元件供给装置的电子元件搬送装置、以及具备该电子元件搬送装置的安装机。
技术介绍
一直以来，作为具备收纳液晶面板并可在地面上移动的搬送台车以及设置在地面且可连结于所述搬送台车的液晶面板制造装置的搬送移载装置，例如已知有(日本)特开 2003-176021号公报(以下称为专利文献1)所记载的装置。该专利文献1中公开了一种用于将搬送台车连结于液晶面板制造装置的构造。该文献1所记载的液晶面板制造装置具备在连结时引导搬送台车的移动的一对导轨；以及用于定位搬送台车的一对套孔。另一方面，搬送台车在与所述一对导轨对应的位置具备一对导块，并且在与所述一对套孔对应的位置具备一对定位销。即，当搬送台车与液晶面板制造装置连结时，随着使搬送台车向液晶面板制造装置移动，搬送台车的一对导块沿着液晶面板制造装置的一对导轨被引导，进一步使搬送台车移动时，搬送台车的一对定位销插入液晶面板制造装置的一对套孔以完成连结。而且，连结状态下的搬送台车与液晶面板制造装置的位置关系由所述套孔和所述定位销确定。此外，该专利...
【技术保护点】
１．一种电子元件搬送装置，其特征在于包括：晶圆收纳装置，收纳有包含电子元件的晶圆且相对于地面可移动；元件供给装置，设置在所述地面且可连结于所述晶圆收纳装置；导轨，设置在所述元件供给装置和所述晶圆收纳装置之中的一个上；以及引导部件，设置在所述元件供给装置和所述晶圆收纳装置之中的另一个上，所述晶圆收纳装置相对于所述元件供给装置连结或分离时沿着所述导轨被引导，其中，所述晶圆收纳装置，通过相对于所述元件供给装置沿特定方向移动而相对于该元件供给装置连结或分离，且在所述特定方向朝元件供给装置一侧的端部具备相对于所述地面可支承该晶圆收纳装置的支承部，所述导轨和所述引导部件在所述晶圆收纳装...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小木曾武，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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