【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体及平板显示制造业中的非接触式搬运
，涉及和相应装置。
技术介绍
在半导体及平板显示制造业中，对晶片或玻璃基板的表面质量要求很高，为了避免对工件表面产生污染、损伤等不良影响，非接触式搬运技术得到了越来越广泛的应用。非接触吸盘是一种常用的吸浮式非接触搬运设备，现存问题是吸取工件前的初始间隙没有标准或难以控制，初始间隙不合理会使吸取过程工件振幅过大，振动衰减较慢，极易导致吸盘与工件碰撞接触；随着所生产的工件尺寸越来越大，厚度越来越小，在吸取和搬运过程中工件易产生变形，刚性连接的吸盘无法进行相应的调节，也容易造成接触。针对这些情况，本专利技术提出的和相应的装置，结构简单，制造成本低，且经过验证切实有效，是一种稳定非接触吸盘工作间隙的实用方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供。本专利技术的技术方案是在非接触吸盘工作面的外围，位置均勻地开设竖直向下的喷吹孔，以喷吹力均勻为原则，开孔直径宜小，开孔数量宜多。上述喷吹孔的气源独立于吸盘真空发生装置的气源，有独立的进气压力或流量调节装置。本专利技术的非接触吸盘与其支承件之间具有柔性连接机构 (例如弹簧)...
【技术保护点】
１．一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法，其特征在于：在非接触式吸盘的真空发生腔的外围开设均匀分布的喷吹孔，喷吹孔通以压缩空气产生喷吹力，当吸盘与被吸取工件靠近，喷吹孔出口与工件的距离小于设定距离时，喷吹力变大，吸盘被推开，当吸盘与被吸取工件远离，喷吹孔出口与工件的距离大于设定距离时，喷吹力变小，吸盘在重力作用下靠近工件，最终吸盘与工件的距离稳定在设定距离。
【技术特征摘要】
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