温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体及平板显示制造业中的非接触式搬运技术领域，实现了一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法。发明内容主要涉及在非接触式吸盘放下至吸取工件的过程中稳定吸盘与工件之间气体间隙的方法和相应装置。本发明通过在非接触式吸盘的真空发生腔的外围开...
该专利属于蔡茂林所有，仅供学习研究参考，未经过蔡茂林授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。