【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在半导体设备制造领域内，一种与普通的硅片传输机器人相比较，T轴旋转角度更大、适应集成度更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
技术介绍
一般说来，国内使用的半导体硅片传输机器人T轴的旋转角度范围在600°左右， 最大的也不超过700°，即从T轴的零位算起，机械手臂可向左或向右各旋转300°，最大不超过350°的范围，超过此范围，即被T轴旋转硬限位所限制。随着半导体制造业的不断进步，生产线的集成度越来越高，要求在同一工位上所完成的工步越来越多，工步的分布角度越来越广，这就要求T轴的可旋转角度越来越大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构合理，T轴旋转角度大于1000°的T轴旋转限位机构。即从T轴的零位算起，机械手臂可向左或向右各旋转500°。本专利技术的专利技术目的是这样实现的一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构，包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合 4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12。通过采用二级拨榫...
【技术保护点】
１．Ｔ轴旋转限位机构，用在硅片传输机器人中，旋转角度大于１０００°，包括Ｔ轴限位上联接盘（１）、一级拨榫机构组合（２）、一级旋转限位拨盘（３）、二级拨榫机构组合（４）、上轴承（５）、轴承隔套（６）、旋转轴（７）、下轴承（８）、二级旋转限位拨盘（９）、限位套（１０）、限位块（１１）、联接螺钉（１２）等；其特征在于：所述Ｔ轴限位上联接盘（１）的沉孔内，装有一级拨榫机构组合（２）；所述一级旋转限位拨盘（３）的沉孔内，装有二级拨榫机构组合（４），上表面开有圆周为３３０°的限位拨盘槽；所述旋转轴（７）轴肩上部装有下轴承（８）、轴承隔套（６）、上轴承（５）；所述二级旋转限位拨盘（９）的...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘延杰，吴明月，荣伟彬，孙立宁，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93
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