【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体涉及光电材料和制造方法。更具体地，本专利技术提供了用于薄膜热处理的方法和设备。本专利技术的实施方式包括用于保持多个特大基板的方法和设备，用来在形成光电吸收材料的热处理过程中实现基本一致的基板温度，但是会认识到，本专利技术可以应用于其他薄膜处理应用。
技术介绍
从刚开始的时候，人类已经尝试找到支配能量的方式。能源以这样的形式出现，如石化、水电、原子能、风、生物量、太阳能，以及更原始的形式，如木材和煤炭。最近，环境清洁和可再生能源是一直想要的。清洁和可再生的能源也包括风、波浪、生物量等。其他类型的清洁能源还包括太阳能。太阳能技术一般将来自太阳的电磁辐射转换成其他形式的能量。这些其他形式的能量包括热能和电力。对于电力应用，通常使用太阳能电池。虽然太阳能是环境清洁的并且一定程度上已经很成功，但是在它在世界各地广泛应用之前仍有很多限制。例如，一种类型的太阳能电池使用晶体材料，其来自半导体材料锭。这些晶体材料可用于制造包括将电磁辐射转换成电力的光电装置和光电二极管装置的光电子装置。然而，晶体材料常常是昂贵的且很难大规模制造。此外，由这种晶体材料制成的装置常常具...
【技术保护点】
１．一种保持用于热处理的多个平面基板的方法，包括：提供具有第一端和第二端的管状炉，所述管状炉被用于进行热处理过程的多个加热器围绕，所述第一端具有门；提供具有耦接至顶架的基架的舟夹具，所述基架包括两个长度部分以及第一宽度部分、第二宽度部分、和连接在所述两个长度部分之间的至少一个中间构件；在所述第一宽度部分、所述第二宽度部分和所述至少一个中间构件上安装带槽构件，每个带槽构件具有多个凹槽；将多个平面基板插入所述舟夹具中，以使在所述第一宽度部分、所述第二宽度部分、和所述至少一个中间构件上的带槽构件以使每个基板与毗邻基板分开一期望距离的方式支撑所述平面基板的每一个；从所述第一端将所述...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·亚历山大，于尔格·施密茨贝格尔，阿希什·坦登，罗伯特·D·维廷，
申请(专利权)人：思阳公司，
类型：发明
国别省市：US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。