下载保持用于热处理的多个平面基板的方法和设备的技术资料

文档序号:7103906

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本发明公开了保持用于热处理的多个平面基板的方法和设备。该方法利用具有基架的舟夹具,该基架包括两个长度部分以及第一宽度部分、第二宽度部分、和连接在两个长度部分之间的一个或多个中间构件。此外,该方法包括:将可拆卸的第一带槽棒分别安装在第一宽度部...
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