本发明专利技术公开了一种用于化学机械抛光机的防溅装置和具有该防溅装置的化学机械抛光机。所述防溅装置包括抛光液挡板，所述抛光液挡板的本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽；多个外套筒，每个外套筒内限定有沿竖直方向延伸且下端敞开的外套筒容纳腔；多个内套筒，每个内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔；和多个驱动件，多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个导孔且与多个外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动抛光液挡板和多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。根据本发明专利技术实施例的防溅装置占用空间小、且可以大大地改善抛光环境。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及化学机械抛光领域，具体而言，涉及一种用于化学机械抛光机的防溅装置和具有该防溅装置的化学机械抛光机。
技术介绍
大规模集成电路生产过程中，对晶片表面上的物质进行去除和平坦化是一道必需且使用频繁的工序。目前，化学机械抛光是最有效的全局平坦化技术。在进行化学机械抛光的过程中，由抛光头和抛光盘等运动部件旋转产生的离心力会将抛光液从抛光垫上甩出。 抛光液飞溅到抛光空间的各个部位，难以完全清理。抛光液在抛光空间内结晶出颗粒，即使很微小的颗粒也会成为整个工作环境的污染源，可能会造成晶片表面的划伤，降低晶圆的成品率。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种占用空间小的用于化学机械抛光机的防溅直ο本专利技术的另一个目的在于提出一种具有所述防溅装置的化学机械抛光机。根据本专利技术第一方面实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置，包括抛光液挡板，所述抛光液挡板包括本体，所述本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽，每个所述容纳槽沿竖直方向延伸，每个所述容纳槽的下端均敞开；多个外套筒，每个所述外套筒内限定有沿竖直方向延伸的外套筒容纳腔，每个所述外套筒容纳腔的下端均敞开，其中所述多个外套筒分别对应地设在所述多个容纳槽内且所述多个外套筒的上端分别对应地与所述多个容纳槽的上端相连；多个内套筒，每个所述内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔， 其中多个所述内套筒的至少一部分分别对应地设在多个所述外套筒容纳腔内；和多个驱动件，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动， 其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置通过将所述多个驱动件设在所述工作平台的下表面上，从而可以使所述多个驱动件的驱动部沿竖直方向延伸且沿竖直方向移动，这样不仅可以大大地减小所述防溅装置所占用的体积，而且不需要在所述多个驱动件上设置防护装置以避免抛光液飞溅到所述多个驱动件的表面(所述工作平台可以防止抛光液飞溅到所述多个驱动件的表面)，进一步减小了所述防溅装置所占用的体积、 降低了所述防溅装置的制造成本。所述抛光盘的周围需要安装很多具有特定功能的零部件，空间非常有限，通过设置占用空间小的所述防溅装置，可以大大地方便所述修整器、所述抛光液输送装置等部件的安装维护。而且，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过所述多个内套筒的导孔、且所述多个外套筒分别对应地套在所述多个内套筒外，由于在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程，因此在所述驱动件的驱动部带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在所述低位和所述高位之间移动的过程中，所述内套筒和所述外套筒始终具有重合部分。这样所述内套筒和所述外套筒形成迷宫密封，从而可以避免抛光液飞溅到所述驱动件的驱动部上。此外，所述驱动部沿竖直方向移动时不会与所述内套筒和所述外套筒产生摩擦， 因此不会产生污染抛光环境的颗粒。另外，根据本专利技术上述实施例的用于化学机械抛光机的防溅装置还可以具有如下附加的技术特征根据本专利技术的一个实施例，所述本体的径向截面为圆环形。这样圆环形的所述本体可以更好地与所述抛光盘配合，从而可以阻挡尽可能多的抛光液根据本专利技术的一个实施例，每个所述外套筒的上端面上均设有与所述容纳槽的上端适配的凹槽，其中所述多个容纳槽的上端分别对应地设在多个所述凹槽内，所述多个外套筒的上端通过多个第一紧固件分别对应地固定在所述多个容纳槽的上端。这样可以使所述外套筒的上端更加容易地、稳固地与所述容纳槽的上端相连。根据本专利技术的一个实施例，还包括多个浮动接头，每个所述浮动接头包括基座， 多个所述基座分别对应地与所述多个驱动件的驱动部相连；和球铰链，多个所述球铰链的圆球部分别对应地设在多个所述基座的上表面上，多个所述球铰链的杆部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连。通过设置所述多个浮动接头，可以使所述多个驱动件的驱动部同步地带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向移动，不会发生卡死现象。根据本专利技术的一个实施例，还包括多个驱动杆，所述多个驱动杆的下端分别对应地与多个所述球铰链的杆部的上端相连，所述多个驱动杆的上端分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连。通过设置所述驱动杆，可以大大地减小所述驱动件的驱动部的长度。这样可以通过商业渠道得到所述驱动件，而不需要制造专用于所述防溅装置的所述驱动件，从而可以大大地降低所述防溅装置的制造成本。根据本专利技术的一个实施例，多个所述基座分别对应地与所述多个驱动件的驱动部螺纹连接，所述多个驱动杆的下端分别对应地与多个所述球铰链的杆部的上端螺纹连接。 这样可以更加容易地将所述驱动件、所述浮动接头和所述驱动杆连接在一起。根据本专利技术的一个实施例，还包括多个外套筒接头且每个所述外套筒容纳腔的顶壁设有与所述外套筒接头适配的容纳孔，其中所述多个外套筒接头分别对应地设在多个所述容纳孔内，所述多个驱动杆的上端分别对应地与所述多个外套筒接头螺纹连接。通过设置所述外套筒接头，可以使所述驱动杆通过所述外套筒接头与所述外套筒容纳腔的顶壁螺纹连接。根据本专利技术的一个实施例，每个所述容纳孔为台阶孔，每个所述外套筒接头的外壁上设有周向凹槽，其中多个第二紧固件的端部分别对应地穿过多个所述容纳孔的壁且分别对应地位于多个所述周向凹槽内。这样可以使所述外套筒接头更加牢固地固定在所述容纳孔内。根据本专利技术的一个实施例，每个所述驱动件均为汽缸且每个所述驱动件的驱动部为活塞杆。根据本专利技术第二方面的实施例提出一种化学机械抛光机，所述化学机械抛光机包括工作平台，所述工作平台内间隔开地限定有多个沿竖直方向贯通的安装孔；抛光盘，所述抛光盘安装在所述工作平台的上表面上；修整器和抛光液输送装置，所述修整器和抛光液输送装置分别安装在工作平台的上表面上且位于抛光盘附近；抛光头支架和抛光头，所述抛光头支架安装在工作平台的上表面上，所述抛光头可旋转地设置在所述抛光头支架上；和防溅装置，所述防溅装置为根据本专利技术第一方面所述的防溅装置，其中抛光液挡板绕所述抛光盘设置，多个内套筒间隔开地固定在所述工作平台的上表面上且多个导孔分别对应地与多个所述安装孔连通，多个驱动件间隔开地固定在所述工作平台的下表面上，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个所述安装孔和多个所述导孔且与多个外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动所述抛光液挡板和多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述抛光液挡板的上端面不高于所述抛光盘的盘面，在所述高位所述抛光液挡板的下端面低于所述抛光盘的盘面。根据本专利技术实施例的化学机械抛光机通过设置根据本专利技术第一方面所述的防溅装置，从而可以防止抛光液飞溅。因此所述化学机械抛光机具有更加洁净的抛光环境，可以大大地提高晶圆的成品率。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图1是根据本专利技术实施例的用于本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种用于化学机械抛光机的防溅装置，其特征在于，包括：抛光液挡板，所述抛光液挡板包括本体，所述本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽，每个所述容纳槽沿竖直方向延伸，每个所述容纳槽的下端均敞开；多个外套筒，每个所述外套筒内限定有沿竖直方向延伸的外套筒容纳腔，每个所述外套筒容纳腔的下端均敞开，其中所述多个外套筒分别对应地设在所述多个容纳槽内且所述多个外套筒的上端分别对应地与所述多个容纳槽的上端相连；多个内套筒，每个所述内套筒内限定有沿竖直方向贯通的导孔，其中多个所述内套筒的至少一部分分别对应地设在多个所述外套筒容纳腔内；和多个驱动件，所述多个驱动件的驱动部分别对应地穿过多个所述导孔且与多个所述外套筒容纳腔的顶壁相连以便带动所述抛光液挡板和所述多个外套筒沿竖直方向在低位和高位之间移动，其中在所述低位所述内套筒的位于所述外套筒容纳腔内的部分的长度大于所述驱动部的行程。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：路新春，许振杰，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11
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