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本发明公开了一种用于化学机械抛光机的防溅装置和具有该防溅装置的化学机械抛光机。所述防溅装置包括抛光液挡板，所述抛光液挡板的本体为环形且沿周向间隔开地设有多个容纳槽；多个外套筒，每个外套筒内限定有沿竖直方向延伸且下端敞开的外套筒容纳腔；多个内...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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