热氢化C-C热场制造技术

技术编号:7083735 阅读:335 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及热氢化C-C热场,属于四氯化硅热氢化设备。属于多晶硅生产领域。其碳碳复合材料多气腔结构置于底盘上,碳碳复合材料多气腔结构分为上、下两部,其结构相同,在下部结构的四周按120度均匀地设置有三个进气口,多气腔结构上、下部结构板材间用碳碳螺栓一次性连接固定,在多气腔结构上设置有顶盖,多气腔结构置于热氢化设备本体钟罩内,在热氢化设备本体钟罩的顶部设有炉膛顶部进气,顶盖与热氢化设备本体钟罩的侧面形成外围空间,在热氢化设备本体钟罩的底部中心设有出气孔,出气孔与底盘的气孔相通;其一、特殊的热场结构设计,增加转化炉热场的加热面积,增加反应气体的换热时间,进而提高转化率,减低电耗。其二、解决材料安装过程中的易损问题。其三、特殊热场结构设计和气路设计提高材料重复利用率,降低材料腐蚀腐朽,降低材料成本。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热氢化C-C热场,属于四氯化硅热氢化设备。属于多晶硅生产领域。二
技术介绍
目前多晶硅行业热氢化工艺中,转化炉热场上的优化是一大方向。目前多用的转化炉热场主要有该结构设计主要为单一的进气路设计和保温热场,该类型石墨热场材料分为两种,纯石墨材质和碳碳复合材质。以上热场在运行中仍面临以上问题四氯化硅转化率较低,最好的转化率大约在22%,电耗在3_4kwh/kg三氯氢硅。转化率低主要受制于换热面积不足和换热时间短。石墨热场板材强度低做不到整体结构拆装,石墨件热场拆装过程中,容易受损,重复利用性较差。相比之下碳碳复合材质热场比较好的解决了此类问题。不管是石墨材质还是碳碳复合材质热场,在经过半年以上(有的甚至更短)运行后热场温度较高和温差大的区域材料的腐蚀腐朽现象严重,导致结构受损或坍塌。更加加剧了材料的受损,热场材料成本居高不下。三、技术的内容本技术的目的主要针对目前的热氢化热场存在的问题而设计一种热氢化C-C 热场。其着重解决以下问题一、特殊的热场结构设计,增加转化炉热场的加热面积,增加反应气体的换热时间,进而提高转化率,减低电耗。二、解决材料安装过程中的易损问题。三、 特殊热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热氢化C-C热场,它包括:底盘(1)、碳碳复合材料多气腔结构(2)、顶盖(3)、热氢化设备本体钟罩(5)、炉膛顶部进气(6)、外围空间(7)、出气孔(9)构成,其特征在于:碳碳复合材料多气腔结构(2)置于底盘(1)上,碳碳复合材料多气腔结构(2)分为上、下两部,碳碳复合材料多气腔结构(2)的下部整体结构热场(2a),碳碳复合材料多气腔结构(2)的上部整体结构热场(2b),其结构相同,在下部结构(2a)的四周按120度均匀地设置有三个进气口(4a、4b、4c),碳碳复合材料多气腔结构(2)上、下部结构板材间用碳碳螺栓一次性连接固定,在碳碳复合材料多气腔结构(2)上设置有顶盖(3),碳碳复...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶军刘建中张玉泉李波尹敏何克周
申请(专利权)人:陕西天宏硅材料有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:61

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