大气压等离子装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大气压等离子装置及其制造方法。所述大气压等离子装置包括：阳极、阴极、以及设置于阳极与阴极之间的绝缘介质；阳极和阴极间填充有可电离的气体；阴极包括多个等离子产生与排除单元，每个等离子产生与排除单元包括均匀分布的相同的等离子排除区域和等离子产生区域，等离子排除区域和等离子产生区域均匀设置，并且，三个互为相邻的等离子排除区域之间，每两个等离子排除区域的中心间距相等。通过上述方式，本发明专利技术能够减轻等离子对阴极及绝缘介质的腐蚀，提高大气压等离子装置的寿命，另外，能够提高基板表面清洁均一性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子显示面板制造领域，特别是涉及一种。
技术介绍
当物质被持续给予能量时，它的温度升高并且从固体转变成液体，然后变成气体。 持续施加能量导致其状态进一步变化，其中气体的中性原子或分子经高能碰撞产生带负电荷的电子、正或负离子以及其它物质。这种带电物质的混合物显示出的集体行为被称为“等离子体”。大气压等离子处理作为一种新型的表面处理技术，比如等离子清洗，具有低温、常压处理，不会对材料表面造成损伤，无电弧，无需真空腔体，也无需有害气体吸出系统，长时间使用并不会对操作人员造成身体损害，成本低廉等诸多优点，被广泛应用于如TFT-LCD 基板表面处理等各个行业。大气压式等离子的放电模式属于介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge ；简称DBD)，即有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电，又称之为介质阻挡电晕放电或无声放电。介质阻挡放电能够在高气压和很宽的频率范围内工作，通常的工作气压为104 106Pa，电源频率可从50Hz至IMHz。电极结构的设计形式多种多样。 在两个放电电极之间充满某种工作气体，并将其中一个或两个电极用绝缘介质覆盖，也可以将介质直接悬挂在放电空间或采用颗粒状的介质填充其中，当两电极间施加足够高的交流电压时，电极间的气体会被击穿而产生放电，即产生了介质阻挡放电。在实际应用中，管线式的电极结构被广泛的应用于各种化学反应器中，而平板式电极结构则被广泛的应用于工业中的高分子和金属薄膜及板材的改性、接枝、表面张力的提高、清洗和亲水改性中。现有技术大气压等离子装置其结构主要包括阳极、绝缘介质和阴极，为了使阳极和阴极间产生的等离子排除，一般会在阴极上开许多等离子排除区域，参阅图1，是现有技术大气压等离子装置阴极结构示意图。阴极包括等离子排除区域401和等离子产生区域 403。目前，市场上的大气压等离子装置的阴极等离子排除区域绝大多数都采用圆形设计和千鸟排列方式。但是，采用圆形设计和千鸟排列方式会带来如下问题 (1)采用圆形设计方式，未考虑到等离子产生区域和等离子排除区域面积均等设计，从而容易导致等离子容易滞留在阳极和阴极间，对阴极以及绝缘介质产生腐蚀，降低装置的寿命；(2)采用千鸟排列方式，等离子排除区域位置和等离子产生区域位置不等距，靠近等离子排除区域的等离子容易排除，然而离等离子排除区域较远的等离子不容易排除，使局部区域的等离子容易滞留，而阴极外侧靠近等离子排除区域的等离子浓度较高，远离等离子排除区域的等离子浓度较低，从而导致等离子的分布不均勻，导致表面处理均勻性差。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种，能够减轻等离子对阴极及绝缘介质的腐蚀，提高大气压等离子装置的寿命，另外，能够提高基板表面清洁均一性。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是提供一种大气压等离子装置，包括阳极、阴极、以及设置于阳极与阴极之间的绝缘介质；阳极和阴极间填充有可电离的气体；阴极包括多个均勻分布的相同的等离子产生与排除单元，每个等离子产生与排除单元包括等离子排除区域和等离子产生区域，等离子排除区域与等离子产 生区域的面积相等，并且，三个互为相邻的等离子排除区域之间，每两个等离子排除区域的中心间距相寸。其中，等离子产生与排除单元呈正六边形，多个等离子产生与排除单元形成蜂窝状结构。其中，等离子排除区域是圆形，并设置于等离子产生与排除单元的中心，等离子排除区域的半径与等离子产生与排除单元的边长之比为Ji。V 4π其中，等离子排除区域是正六边形，并设置于等离子产生与排除单元的中心，等离子排除区域的边长与等离子产生与排除单元的边长之比为I。2其中，绝缘介质包括第一绝缘板层和第二绝缘板层，第一绝缘板层覆盖于阳极相对阴极一侧的表面，第二绝缘板层覆盖于阴极相对阳极一侧的表面。其中，绝缘介质包括第三绝缘板层，第三绝缘板层覆盖于阳极相对阴极一侧的表面，或者覆盖于阴极相对阳极一侧的表面，或者悬空设置于阳极与阴极之间。其中，绝缘介质是多个绝缘颗粒，填充于阳极和阴极之间。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是提供一种大气压等离子装置制作方法，包括如下步骤准备阳极、阴极和绝缘介质；向阳极和阴极之间加入可电离的气体；将绝缘介质设置于阳极和阴极之间；在阴极上形成多个均勻分布的等离子产生与排除单元，每个等离子产生与排除单元包括等离子排除区域和等离子产生区域，等离子排除区域和等离子产生区域面积相等，并且，三个互为相邻的等离子排除区域之间，每两个等离子排除区域的中心间距相等。其中，在阴极上形成多个均勻分布的相同的等离子产生与排除单元，每个等离子产生与排除单元包括等离子排除区域和等离子产生区域，等离子排除区域和等离子产生区域面积相等，并且，三个互为相邻的等离子排除区域之间，每两个等离子排除区域的中心间距相等步骤中，包括将等离子产生与排除单元形成正六边形，将多个等离子产生与排除单元形成蜂窝状结构。其中，将等离子排除区域形成圆形，并设置于等离子产生与排除单元的中心，等离子排除区域的半径与等离子产生与排除单元的边长之比为、^ ；或者将等离子排除区域V 4π形成正六边形，并设置于等离子产生与排除单元的中心，等离子排除区域的边长与等离子产生与排除单元的边长之比为I。2 本专利技术的有益效果是区别于现有技术采用圆形设计，产生等离子区域和排除等离子区域面积不相等的设计，从而容易导致等离子容易滞留在阳极和阴极间，对阴极以及绝缘介质产生腐蚀，降低等离子装置的寿命的情况，以及采用千鸟排列方式，等离子排除区域位置和等离子产生区域位置不等距，靠近等离子排除区域的等离子容易排除，然而离等离子排除区域较远的等离子不容易排除，使局部区域的等离子容易滞留，而阴极外侧靠近等离子排除区域的等离子浓度较高，远离等离子排除区域的等离子浓度较低，从而导致等离子的分布不均勻，导致表面处理均勻性差的情况，本专利技术对大气压等离子装置的阴极结构进行改进，阴极包括多个均勻分布的等离子产生与排除单元，每个该等离子产生与排除单元包括面积相等的等离子排除区域和等离子产生区域，并且，三个互为相邻的所述等离子排除区域之间，每两个所述等离子排除区域的中心间距相等，使阳极和阴极间产生的等离子和排除的等离子始终保持平衡一致，而且阴极上任意位置的等离子都能排除，能够减轻等离子对阴极及绝缘介质的腐蚀，提高大气压等离子装置的寿命，另外还能提高大气压等离子装置基板表面清洁均一性。附图说明图1是现有技术大气压等离子装置阴极结构示意图；图2是本专利技术大气压等离子装置第一实施例的结构示意图；图3是图2所示阴极结构第一示意图；图4是图2所示阴极结构第二示意图；图5是大气压等离子装置第二实施例的第一实施方式的结构示意图；图6是大气压等离子装置第二实施例的第二实施方式的结构示意图；图7是大气压等离子装置第二实施例的第三实施方式的结构示意图；图8是本专利技术大气压等离子装置制造方法第一实施例的流程图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术进行详细说明。参阅图2，并请结合参阅图3，是本专利技术大气压等离子装置第一实施例的结构示意图，大气压等离子装置包括阳极10、绝缘介质12以及阴极14，该阴极14指与阳极10间隔绝缘介质12所正对的部分，且该正对的部分面积与阳极10面积相等。绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种大气压等离子装置，其特征在于，包括：阳极、阴极、以及设置于所述阳极与所述阴极之间的绝缘介质；所述阳极和所述阴极间填充有可电离的气体；所述阴极包括多个均匀分布的相同的等离子产生与排除单元，每个所述等离子产生与排除单元包括等离子产生区域和等离子排除区域，所述等离子产生区域与所述等离子产生区域的面积相等，并且，三个互为相邻的所述等离子排除区域之间，每两个所述等离子排除区域的中心间距相等。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严茂程，施翔尹，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94