全氟化物废气处理方法技术

一种全氟化物废气处理方法，其特征在于，包含：　　　　（ａ）全氟化物废气与水蒸气通过等离子火炬进入反应腔瞬间被热解形成废气产物，其所述水蒸气经由环绕所述反应腔的水蒸气管组所提供；　　　　（ｂ）一燃烧室引入外界空气，使所述空气可在所述燃烧室内与所述废气产物反应；　　　　（ｃ）经由一水槽组溶解所述废气产物中部分氟化氢并除去在所述水槽组中的所述废气产物中的固体小分子；　　　　（ｄ）经由一湿式洗涤塔处理剩余的所述废气产物。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于一种废气处理方法，尤其是指一种。
技术介绍
1997年联合国气候变化纲要公约京都议定书中，各国通过管制六种主要温室气体的具体减量方案及时刻表。其中SF6、HFCs及PFCs等主要为人造的温室气体成分，为强效温室气体，具有高全球温暖化潜势指数值(Global Warming Potential；GWP)，具极长的生命期，在大气中的累积效应为不可逆的。但近年来半导体制作过程(如在乾蚀刻化学气相沉积的清腔程序等)广泛地使用CF4、C2F6、NF3等全氟化物(PerfluorocompougdSPFCS)做为制作过程气体，而这些气体仅少部分被使用掉，剩余的大部分(如化学气相沉积约剩余90％)则当作废气排放，是造成温室效应的重要来源。但目前半导体设备元件的制造技术日趋精密，促使全氟化物的使用量随着半导体制作过程的进步与日俱增，因此需要管制与处理避免环境公害的产生，以及采用新的PFCs废气处理系统，以适应未来更加严苛的废气排放标准。目前工业制作过程中其全氟化物废气处理装置，以高能量密度等离子高温裂解及洗涤除害的设计原理为主的装置拥有最佳的效能，由于等离子产生的高温有助于全氟化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：