下载全氟化物废气处理方法的技术资料

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一种全氟化物废气处理方法,其特征在于,包含:    (a)全氟化物废气与水蒸气通过等离子火炬进入反应腔瞬间被热解形成废气产物,其所述水蒸气经由环绕所述反应腔的水蒸气管组所提供;    (b)一燃烧室引入外界空气,使所述空气可在所述燃烧室内与...
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