具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪制造技术

本发明专利技术涉及一种微机电技术领域的具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。本发明专利技术采用圆盘状压电振子的特殊模态，利用科氏加速度效应和压电效应来敏感平行于压电振子上下表面内的角速度。本发明专利技术采用MEMS微细加工技术，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机电
的微陀螺，具体地说，涉及的是一种具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪。
技术介绍
陀螺仪是一种能够精确地测量运动物体转动的角度或角速度的仪器，是空间物体姿态控制和惯性制导的核心部件。随着国防科技和航空、航天工业的发展，惯性导航系统对于陀螺仪的要求也向体积小、多轴检测、功耗低、可靠性高、寿命长、能适应各种恶劣环境的方向发展。经对现有技术的文献检索发现，2006年1月，在土耳其Istanbul召开的IEEE MEMS 2006会议上，日本神户大学的K. Maenaka等人发表了一篇题为“新型微固态陀螺”的论文，该论文被收录在第634页到第637页，首次提出了一种压电式全固态微型陀螺，利用方形压电体质量块在某个振动频率下存在一种特殊的振动模态，在该振动模态下，压电体质量块上各质点都沿着同一个轴向运动，使得压电体的棱边沿着某个轴向作拉伸或压缩运动。以此特殊模态下的振动作为参考振动，假设压电体的极化方向为Z方向，参考振动方向为X方向，当外界输入Y方向上的角速度时，由于科氏力的作用，压电质量块会在其极化方向上(即Z轴方向上)产生拉伸或压缩运动。由于压电体的压电效应，Z方向的振动会在压电体垂直于Z方向的表面产生感应电荷或电压，感应电荷或电压的量值和外界输入角速度成正比，通过检测外围电路放大之后的电荷或电压来测量外界输入角速度的大小。中国专利“具有正方形表面长方体压电振子的全固态陀螺仪”(专利申请号 200810041675. 5)，是在日本微固态陀螺的基础上利用新的高阶模态，新型的结构，专利技术的基于正方体压电块的双轴检测固态陀螺仪，其基本原理为利用压电体质量块在某个振动频率下存在的一种特殊的高阶振动模态，在该振动模态下，压电体质量块上下表面的特殊位置在X轴向和Y轴向分别产生方向相反的运动。以此特殊模态下的振动作为参考振动，当有外界角速度输入时，运动方向相反的位置产生相反的科氏力，引起压电体Z方向的振动。 由于压电效应，Z方向的振动会在压电体垂直于Z方向的表面产生感应电荷或电压，感应电荷或电压的量值和外界输入角速度成正比，通过检测外围电路放大之后的电荷或电压来测量外界输入角速度的大小。此技术存在如下不足首先，由于其上下表面都有多个电极，其加工工艺复杂，双面电极定位精度要求高，多个电极的引线对陀螺性能也会产生影响；其次，压电振子为方形压电块，其刚度较大，产生的有效振动幅值较小；最后，由于压电振子为方形压电块，其存在直角边，在受力过程中会产生应力集中现象，在高频工作状态下，影响陀螺的可靠性和寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对已有技术的不足，提供一种具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，结构上采用带有弹性圆柱体支撑的圆盘状压电振子，利用圆盘状压电振子特有模态下的特殊振动方式，实现陀螺仪双轴敏感的功能。驱动电极只分布在圆盘状振子的上表面， 下表面只有一整块电极接地作为参考点位，加工工艺简单，不需双面对准，陀螺电极引线较少。压电振子为圆盘状，刚度相对较小，振动幅值较大，灵敏度较高，且受力过程中减少了应力集中现象，具有较好的可靠性和较长的寿命。本专利技术是通过以下技术方案实现的，本专利技术包括圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。所述压电振子的材料为压电材料，结构为圆盘状，圆盘的上表面和下表面平行。所述支撑圆柱为弹性结构材料，支撑的圆柱体同圆盘的下表面垂直，支撑圆柱体下端固定在基体上。所述驱动电极为金属电极，结构为圆弧状，共有四个，位于圆盘状压电振子的上表面，相隔一定角度，均勻的分布在和圆形表面同心的圆周上，圆弧电极的外径小于圆盘的半径的2/3。所述信号检测电极为金属电极，结构为圆弧状，共有四个，位于圆盘状压电振子的上表面，相隔一定角度，均勻的分布在上表面圆周上，圆弧电极的外径等于圆盘半径，内径大于圆盘半径的2/3。所述模态检测电极为金属电极，结构为圆弧状，共有两个，位于圆盘状压电振子的上表面，相隔180°分布在和圆形表面同心的圆周上，内径半径大于圆弧形驱动电极的外径，外径小于圆弧状检测电极的内径。所述电位参考电极为金属电极，为圆环状，位于圆盘状压电振子的下表面，圆环外径等于下表面圆盘的半径，内径等于支撑圆柱的半径。所述上表面驱动电极和检测电极在圆盘上的分布关于上表面圆心对称，驱动电极之间分布相隔角度和信号检测电极分布相隔角度相同。关于圆心对称的两对驱动电极或两对检测电极的中心连线经过圆盘上表面圆心，分别为第一中心线和第二中心线，第一中心线和第二中心线垂直。模态检测电极圆弧的角度为驱动电极或信号检测电极分布相隔的角度。本专利技术利用圆盘状压电振子在特殊模态下的振动作为参考振动，同时利用压电材料的压电效应进行输出信号的检测。当在驱动电极上施加与选定模态频率匹配的交变电压激励时，圆盘形振子会产生一种特殊的振动。圆盘形振子沿上表面第一、第二中心线的方向分别做拉伸或压缩运动，当沿上表面第一中心线方向拉伸时，沿上表面第二中心线方向压缩，当沿上表面第一中心线方向压缩时，沿上下表面第二中心线方向拉伸。假设圆盘状压电振子沿X轴和Y轴方向拉伸和压缩，压电体的极化方向垂直于圆盘振子上下表面，设为Z方向，当外界输入与X轴向或Y轴向的角速度时，具有相同中心线的信号检测电极产生的科氏力方向相反，产生一个力矩，在竖直方向上(压电振子的极化方向)的振动发生变化，在输出电极上产生变化相反的电势输出，电势变化的大小与外界输入的角速度大小成正比。且在不同的方向上同时有角速度输出时，在不同的信号检测电极上都会产生电势变化，因此可通过检测不同信号检测电极上的电势变化来检测两个轴上角速度的输出。本专利技术采用圆盘状压电块作为振子，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工作。本专利技术利用特殊模态下的特殊振动作为参考振动，高压电系数的压电体的正压电效应产生的电压信号作为检测信号，能够准确的检测外界输入的双轴方向上的角速度。本专利技术可用于卫星、武器、民用导航等领域。附图说明图1为本专利技术总体结构示意图。图2为本专利技术圆盘状振子所选用的工作模态总位移变化云图。图3为本专利技术圆盘状压电振子在驱动状态下X方向位移变化云图。图4为本专利技术圆盘状压电振子在驱动状态下Y方向位移变化云图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的实施例作详细说明本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本专利技术的保护范围不限于下述的实施例。如图1所示，本实施例包括压电振子1，支撑圆柱2，驱动电极4、7、9、12，信号检测电极5、8、10、13，模态检测电极6、11，电位参考电极3。压电振子1材料为压电材料，结构为圆盘形，圆盘状压电振子1其中一端为上表面，另一端与之平行的面为下表面，压电材料的极化方向垂直于圆盘的上下表面。弹性支撑圆柱2材料为弹性材料，结构为圆柱体，支撑圆柱一端同圆盘状压电振子的下表面相连，另一端固定在基体上，圆柱体垂直于圆盘状压电振子的上下表面。沿X轴分布本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，其特征在于包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，关冉，陈文元，吴校生，崔峰，刘武，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31