振子传感器制造技术

本发明专利技术提供一种振子传感器，通过设置两个并联或串联的传感器本体(2)共同电性连接同一条反馈信号线(1)，能够实现当其中一个传感器本体(2)发生故障时，另一传感器本体(2)仍能正常发送出对基板的感测信号，从而能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。

Vibrator sensor

The present invention provides a vibration sensor, the sensor body is provided with two parallel or series (2) joint is electrically connected with a feedback signal line (1), can be achieved when one of the sensor body (2) when a fault occurs, a sensor body (2) is still often sent on the substrate of sensing signals, which can reduce the substrate caused by oscillator sensor causes over etching waste and rework rate, improve production capacity, prolong the service life of the sensor oscillator.

【技术实现步骤摘要】
振子传感器
本专利技术涉及显示器件制程领域，尤其涉及一种振子传感器。
技术介绍
在显示
，液晶显示器件(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管显示器件(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代CRT显示器。LCD显示器件是由一片薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)与一片彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板贴合而成，且在TFT基板与CF基板之间灌入液晶，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。OLED具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示器件。OLED显示器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极，发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。由此可见，不论是LCD显示器件还是OLED显示器件，基板都是不可或缺的重要组成部分。在实际的生产制造过程中，涉及到对基板进行刻蚀、清洗等多种制程，相应的设备通常要配置振子传感器(Sensor)来感测基板的到来或离开。如图1所示，现有的振子传感器包括一条反馈信号线100、及对应该条反馈信号线100设置的一个传感器本体200。所述传感器本体200包括架子基体201、安装在架子基体201中间的振子体202、安装在振子体顶部的转子203、及安装在架子基体201底部用于容置反馈信号线100的套管204；进一步地，所述振子体202与架子基体201之间设有垫片205，所述套管204通过一固定螺丝206固定于架子基体201，振子体202内设有磁铁(未图示)。针对该现有的振子传感器，在很多情况下，当振子体202、转子203、垫片205或其它原因等发生问题时，都会造成振子体202在基板到来或离开时不能正常发送出电学信号，导致设备误报警，基板在设备内部如果停留时间过长，可能导致基板的过刻蚀废弃或返工，不仅造成成本上的浪费，也对设备的产能造成一定的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种振子传感器，能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。为实现上述目的，本专利技术提供一种振子传感器，包括一条反馈信号线、及对应该条反馈信号线设置的两个传感器本体；所述传感器本体包括架子基体、安装在架子基体中间的振子体、安装在振子体顶部的转子、及安装在架子基体底部用于容置反馈信号线的套管；所述振子体内设有磁铁；两个传感器本体的振子体均电性连接所述反馈信号线，当其中一个传感器本体发生故障时，另一传感器本体仍能正常发送出对基板的感测信号。所述振子体与架子基体之间设有垫片，所述套管通过一固定螺丝固定于架子基体。可选的，所述两个传感器本体并联。所述两个传感器本体均正常的情况下，有基板到来通过转子时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流；一个传感器本体正常，另一传感器本体发生故障的情况下，有基板到来通过转子时，一个传感器本体的振子体内的磁铁吸合，另一个传感器本体的振子体内的磁铁断开，仍向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流。可选的，所述两个传感器本体串联。所述两个传感器本体均正常的情况下，有基板到来通过转子时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流；一个传感器本体正常，另一传感器本体发生故障的情况下，有基板到来通过转子时，一个传感器本体的振子体内的磁铁吸合，另一个传感器本体的振子体内的磁铁断开，仍不向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流。所述转子的顶端高于基板的底面1.7mm～2.0mm。一个传感器本体的套管的横截面形状为圆形，对应的架子基体底部相应开设圆形的安装孔用于容置套管；另一个传感器本体的套管的横截面形状为马蹄形，对应的架子基体底部相应开设马蹄形的安装孔用于容置套管。所述振子传感器还包括一定位板、穿过定位板底部用于支撑传感器本体的定位螺母；所述定位板上设有定位刻度，通过调整定位螺母能够使得传感器本体的振子体达到设定的刻度。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种振子传感器，通过设置两个并联或串联的传感器本体共同电性连接同一条反馈信号线，能够实现当其中一个传感器本体发生故障时，另一传感器本体仍能正常发送出对基板的感测信号，从而能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为现有的振子传感器的主视图；图2为本专利技术的振子传感器第一实施例的主视图；图3为本专利技术的振子传感器第一实施例的左视图；图4a、4b分别为本专利技术的振子传感器中两个传感器本体并联时二者均正常的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；图4c、4d分别为本专利技术的振子传感器中两个传感器本体并联时一个正常、另一个发生故障的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；图5a、5b分别为本专利技术的振子传感器中两个传感器本体串联时二者均正常的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；图5c、5d分别为本专利技术的振子传感器中两个传感器本体串联时一个正常、另一个发生故障的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；图6a、6b分别为本专利技术的振子传感器中两个传感器本体的套管的横截面形状的示意图；图7为本专利技术的振子传感器第二实施例的主视图；图8为本专利技术的振子传感器第二实施例的左视图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。本专利技术提供一种振子传感器。图2与图3所示为本专利技术的振子传感器的第一实施例，包括一条反馈信号线1、及对应该条反馈信号线1设置的两个传感器本体2。所述传感器本体2包括架子基体21、安装在架子基体21中间的振子体22、安装在振子体22顶部的转子23、及安装在架子基体21底部用于容置反馈信号线1的套管24；所述振子体22内设有磁铁(未图示)。进一步地，所述振子体22与架子基体21之间设有垫片25，所述套管24通过一固定螺丝26固定于架子基体21。两个传感器本体2的振子体22均电性连接所述反馈信号线1。可选的，所述两个传感器本体2并联。具体地，结合图2、图3、图4a、与图4b，所述两个传感器本体2均正常的情况下，有基板5到来通过转子23时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均吸合，向反馈信号线1传送电流，设备以此电流信号作为对应于基板到来的感测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振子传感器，其特征在于，包括一条反馈信号线(1)、及对应该条反馈信号线(1)设置的两个传感器本体(2)；所述传感器本体(2)包括架子基体(21)、安装在架子基体(21)中间的振子体(22)、安装在振子体(22)顶部的转子(23)、及安装在架子基体(21)底部用于容置反馈信号线(1)的套管(24)；所述振子体(22)内设有磁铁；两个传感器本体(2)的振子体(22)均电性连接所述反馈信号线(1)，当其中一个传感器本体(2)发生故障时，另一传感器本体(2)仍能正常发送出对基板的感测信号。

【技术特征摘要】
1.一种振子传感器，其特征在于，包括一条反馈信号线(1)、及对应该条反馈信号线(1)设置的两个传感器本体(2)；所述传感器本体(2)包括架子基体(21)、安装在架子基体(21)中间的振子体(22)、安装在振子体(22)顶部的转子(23)、及安装在架子基体(21)底部用于容置反馈信号线(1)的套管(24)；所述振子体(22)内设有磁铁；两个传感器本体(2)的振子体(22)均电性连接所述反馈信号线(1)，当其中一个传感器本体(2)发生故障时，另一传感器本体(2)仍能正常发送出对基板的感测信号。2.如权利要求1所述的振子传感器，其特征在于，所述振子体(22)与架子基体(21)之间设有垫片(25)，所述套管(24)通过一固定螺丝(26)固定于架子基体(21)。3.如权利要求1所述的振子传感器，其特征在于，所述两个传感器本体(2)并联。4.如权利要求3所述的振子传感器，其特征在于，所述两个传感器本体(2)均正常的情况下，有基板(5)到来通过转子(23)时，两个传感器本体(2)的振子体(22)内的磁铁均吸合，向反馈信号线(1)传送电流，无基板(5)时，两个传感器本体(2)的振子体(22)内的磁铁均断开，不向反馈信号线(1)传送电流；一个传感器本体(2)正常，另一传感器本体(2)发生故障的情况下，有基板(5)到来通过转子(23)时，一个传感器本体(2)的振子体(22)内的磁铁吸合，另一个传感器本体(2)的振子体(22)内的磁铁断开，仍向反馈信号线(1)传送电流，无基板(5)时，两个传感器本体(2)的振子体(22)内的磁铁均断开，不向反馈信号线(1)传送电流。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建锋，孙鲁男，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42