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具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪制造技术
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下载具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪的技术资料
文档序号:7041170
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本发明涉及一种微机电技术领域的具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪,包括:圆盘状压电振子,支撑圆柱,驱动电极,信号检测电极,模态检测电极和电位参考电极;圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连,支撑圆柱另一端固定在基体上,驱动电极、信号检测电极以...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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