一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒制造技术

本实用新型专利技术公开一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒，该反应盒包括：一不锈钢上导气管，一不锈钢下导气管，一中心铝电极板，两块铝质门板，两块不锈钢堵头板，多条呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。所述不锈钢上导气管为其横截面呈上、中、下三隔层的方通管，方通管中间隔层以及方通底部分别钻制有气流孔；下导气管为其横截面呈上、下两层的方通管，方通管中间隔层以及方通管顶部分别钻制有气流孔；所述上导气管的一端设有一进气口；所述下导气管的一端设有一出气口；所述中心铝电极板周围装有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条；所述铝质门板安装于反应盒两侧。这样设计的反应盒，可以有效提高反应气体流进反应空间的气流的均匀性，从而使得沉积的非晶硅膜厚度的均匀性得到很好的改善。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及非晶硅太阳能电池沉积设备部件，尤其涉及一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒。
技术介绍
非晶硅太阳能薄膜电池的生产技术已经越来越成熟，各种非晶硅的太阳能产品遍布全球。其中，采用等离子体增强化学气相沉积法生产非晶硅太阳能薄膜电池的工艺也被多个厂家采用。但采用这种工艺来生产的非晶硅太阳能薄膜电池，其技术难度之一在于沉积的非晶硅层厚度不够均勻。原因在于沉积非晶硅时，反应气体的气流分布不均勻。本技术的意义在于，提供一种更优良结构的反应盒，能够明显改善反应盒中反应气体在非晶硅沉积空间的气流分布的均勻性，使得沉积出来的非晶硅膜的均勻性得到更好的改善， 提高了非晶硅膜的均勻性，可以提高非晶硅太阳能薄膜电池的电性能，提高其对太阳能的转换效率。
技术实现思路
为了达到提高沉积非晶硅膜的均勻性，本技术提供一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒。该反应盒包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；所述中间隔层上钻制有若干气流孔；所述上方通管的一端有进气口，所述进气口连接所述上方通管的上层空间；所述上方通管底部中间位置有一不锈钢倒“U”形槽，使得上方通管可以架在中心铝电极板上；所述上方通管的底部本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒，其特征在于，包括：－不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；－不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；－中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝质门板，所述铝质门板安装于反应盒两侧；两块堵头板，所述堵头板分别安装于反应盒两端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周庆明，
申请(专利权)人：深圳市庆丰光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94