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本实用新型公开一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒，该反应盒包括：一不锈钢上导气管，一不锈钢下导气管，一中心铝电极板，两块铝质门板，两块不锈钢堵头板，多条呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。所述不锈钢上导气管为其横截面呈上、中、下三隔层的方通管，方通...
该专利属于深圳市庆丰光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市庆丰光电科技有限公司授权不得商用。

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