一种掩膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及平板显示器技术领域，尤其涉及一种掩膜装置。掩膜装置用于面板的膜层加工，其包括基体材料层和表面涂层。基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成，表面涂层设置于基体材料层的一侧，用于避免基体材料层与面板直接接触，且表面涂层由柔性且耐高温材料制成。本实用新型专利技术通过增设由柔性耐高温材料制成的表面涂层来避免基体材料层与面板直接接触，避免掩膜装置损伤面板或其上的已有膜层，保证面板具有更高的良品率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及平板显示器
，尤其涉及一种用于制作面板的掩膜装置。
技术介绍
在面板中通常具有许多膜层，如彩色滤光片上的透明导电膜和保护膜、阵列基板 上的钝化层和像素电极层等，该等膜层可通过沉积、涂布、溅射等方式形成于面板上。然而，在上述膜层加工中需要使用掩膜板遮挡不需制作膜层的位置，以制作需要 的图案。为保证该图案制作的精确度，掩膜板需具有刚性且不易变形。另外，由于所述图案 的制作是在较高温度下，故所述掩膜板需承受高温。因此，业界使用金属材质制作掩膜板。 使用所述金属掩膜板时，将该金属掩膜板覆盖于所述面板上，并直接与所述面板接触。而该 面板在制作膜层时其上通常还有其他膜层，如彩色滤光片基板在溅射公共电极层时，其上 已形成有黑色矩阵和彩色树脂层，该金属掩膜板在安置或撤离所述彩色滤光片基板时，容 易刮伤该彩色滤光片基板上的黑色矩阵和彩色树脂层，影响面板的质量，进而影响使用该 面板的显示器的显示品质和良率。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可避免损伤面板或其上已有膜层的掩膜装置。一种掩膜装置，用于面板的膜层加工，其包括基体材料层和表面涂层。所述基体材 料层由不易变形且可承受高温的材料制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜装置，用于面板的膜层加工，其包括基体材料层，所述基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成，其特征在于：所述掩膜装置至少还包括表面涂层，所述表面涂层设置于所述基体材料层的一侧，用于避免所述基体材料层与所述面板直接接触，且所述表面涂层由柔性且耐高温材料制成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王士敏，李绍宗，郭志勇，钟荣苹，
申请(专利权)人：深圳莱宝高科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94