下载一种掩膜装置的技术资料

文档序号:7004121

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本实用新型涉及平板显示器技术领域,尤其涉及一种掩膜装置。掩膜装置用于面板的膜层加工,其包括基体材料层和表面涂层。基体材料层由不易变形且可承受高温的材料制成,表面涂层设置于基体材料层的一侧,用于避免基体材料层与面板直接接触,且表面涂层由柔性且...
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