测试样品装卸辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种测试样品装卸辅助装置，用于测试板，所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构，该辅助装置包括：导轨，滑动设置在所述导轨上的滑轨，滑动设置在所述的滑轨上的固定架；连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部件上的用于开启压紧机构的定位针，所述定位针的数目与一个测试基座所对应的压紧机构的数目相等。由于本辅助装置的使用，使得测试样品的装载和卸载十分方便灵活快捷，一位工程师便能独立完成，而不用两人协作，可以提高企业的生产效率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体芯片测试领域，更具体来说是一种用于将测试样品装载到 测试基座和从测试基座下载的辅助装置。
技术介绍
老化(Burn-In)、早期失效率(Early Failure Rate)、高温工作寿命 (HighTemperature Operating Life)等测试是半导体芯片可靠性实验中非常重要的测试 项目。在半导体制造企业，通常采用测试基座(socket)承载测试样品(sample)，一个或 者多个测试基座布置在测试板上。测试基座包括管脚接触针(PinContact Tip)，一方面连 接到测试板的测试电路，另一方面提供与测试样品的管脚之间的良好接触。测试基座周围 还对应设置有压紧机构，压紧机构在自然状态下(也即工作状态下)能够将测试样品锁定 在测试基座上，以确保测试样品的管脚与管脚接触针紧密接触。压紧机构可以为每个测试基座旁设置一个，也可以为均布在测试基座相对两侧的 两个或者均布在测试基座四周的四个，以使得测试样品受力更加均勻。在进行测试之前，工 程师需要开启压紧机构，将测试样品装载到测试基座，放开压紧机构；测试完毕之后，工程 师再次开启压紧机构，将测试样品从测试基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试样品装卸辅助装置，用于测试板，所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构，其特征在于，该辅助装置包括：导轨，滑动设置在所述导轨上的滑轨，滑动设置在所述的滑轨上的固定架；连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部件上的用于开启压紧机构的定位针，所述定位针的数目与一个测试基座所对应的压紧机构的数目相等。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，刘云海，郑鹏飞，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31