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本实用新型涉及一种测试样品装卸辅助装置,用于测试板,所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构,该辅助装置包括:导轨,滑动设置在所述导轨上的滑轨,滑动设置在所述的滑轨上的固定架;连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种测试样品装卸辅助装置,用于测试板,所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构,该辅助装置包括:导轨,滑动设置在所述导轨上的滑轨,滑动设置在所述的滑轨上的固定架;连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部...