音叉型石英晶体谐振器制造技术

技术编号:6992267 阅读:549 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种音叉型石英晶体谐振器,包括一底座及二个从底座同侧平行延伸的谐振臂。谐振臂的上下主表面有非对称的沟槽及贯穿孔来有效连接电极。此非对称沟槽的设计,可简化制作程序及降低制造成本。底座的侧表面有连续凹陷曲面,底座的主表面有凹槽,来降低谐振臂振动所产生的超音波能量经由底座固定镶嵌点进入谐振器的外覆陶瓷封装,以减低谐振器Q值的下降,确保谐振器的优越性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种音叉型石英晶体谐振器,其特征在于,包括:一底座;一第一谐振臂,连接于该底座的一侧,该第一谐振臂具有依序相邻的一第一主表面、一第一侧表面、一第二主表面以及一第二侧表面,该第一谐振臂具有至少一第一沟槽以及至少一第二沟槽,该第一沟槽位于该第一主表面,该第二沟槽位于该第二主表面;以及一第二谐振臂,连接于该底座的该侧,该第二谐振臂具有依序相邻的一第三主表面、一第三侧表面、一第四主表面以及一第四侧表面,该第二谐振臂具有至少一第三沟槽以及至少一第四沟槽,该第三沟槽位于该第三主表面,该第四沟槽位于该第四主表面;其中,该第一主表面以及该第三主表面位于同一平面,该第一沟槽、该第二沟槽、该第三侧表面与该第四侧表面电性连接形成一第一电极,该第三沟槽、该第四沟槽、该第一侧表面与该第二侧表面电性连接形成一第二电极,该第一电极与该第二电极的极性相异;其中,该第一沟槽及该第三沟槽的数目、宽度、深度、形状为非对称于该第二沟槽及该第四沟槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨建成王文莹李鸿鹏
申请(专利权)人:威华微机电股份有限公司
类型:发明
国别省市:71

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