振动片、传感器元件、传感器以及电子设备制造技术

本发明专利技术提供振动片、传感器元件、传感器以及电子设备，使传感器元件的灵敏度提高，推进振动片的小型化。振动片(90)的特征在于包括第一基部(100a)和从第一基部沿第一方向延伸的振动臂(200)，振动臂包括沿第一方向从第一基部侧依次排列的第一区域(ZA)、第二区域(ZB)和第三区域(ZC)，第一～第三区域包括沿俯视与第一方向垂直的第二方向产生电场且彼此电独立的第一电极(Na1～Na3)和第二电极(Nb1～Nb3)，第一、第三区域的电场方向(E5、E7)与第二区域的电场方向(E6)互为相反方向，借助第二方向的电场使振动臂产生第一方向的伸缩，使振动臂向与第一方向和第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动片、传感器元件、传感器以及电子设备。
技术介绍
作为振动片的一个例子的音叉型振动片(音叉型压电振动片)是可成为振子、传感器元件等的构成要素的振动部件，其具有至少一个基部(基部)和与该基部连接(连结) 的至少一根由压电材料构成的振动臂(振动梁)。例如，当对作为压电体(压电材料)的石英施加电压(电场)时，石英发生变形。 石英仅在接近其固有频率的特定频带表现出像线圈那样的感抗特性。应用了该原理的电子部件即石英振子。音叉型石英振子是通过将音叉型石英振动片收纳于封装体并例如通过将封装体内真空密封从而制造出来的。石英振子例如作为振荡电路的构成部件使用。此外，音叉型石英振动片也能够用作检测物理量(加速度、压力、角速度、角加速度等)的传感器元件(例如力检测元件)。石英具有良好的温度稳定性和高Q值(品质因数)，所以通过采用石英振子，可以实现具备高精度和高稳定性且可靠性高的传感器。例如， 在专利文献1中记载了将音叉型振动片作为力检测元件使用的一例。图30(A)、图30⑶是用于说明非专利文献1记载的力检测元件的结构和原理的图。如图30(A)所示，音叉型振动片具有基部MT、与基部MT连本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种振动片，其特征在于，该振动片包括：基部；以及振动臂，该振动臂从所述基部沿第一方向延伸，所述振动臂包括沿所述第一方向从所述基部侧依次排列的第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域～第三区域包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极彼此电独立且沿俯视与所述第一方向垂直的第二方向产生电场，所述第一区域及所述第三区域的电场方向与所述第二区域的电场方向相互为相反方向，借助于所述第二方向的所述电场，使所述振动臂产生所述第一方向的伸缩，使所述振动臂向与所述第一方向和所述第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：西泽竜太，市川想，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP