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振动片、传感器元件、传感器以及电子设备制造技术
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文档序号:6634914
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本发明提供振动片、传感器元件、传感器以及电子设备,使传感器元件的灵敏度提高,推进振动片的小型化。振动片(90)的特征在于包括第一基部(100a)和从第一基部沿第一方向延伸的振动臂(200),振动臂包括沿第一方向从第一基部侧依次排列的第一区域...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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