长形条及晶圆制造技术

本发明专利技术公开了一种长形条，包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区，所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头，每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案，其中，至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案，以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。本发明专利技术的长形条能提高测量精度、降低测量误差，从而改善磁头性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁盘驱动器中的磁头领域，尤其涉及一种具有多个磁头的长形条以及具有多个长形条的晶圆。
技术介绍
包含多个旋转磁盘的硬盘驱动器被普遍用来将数据存储在其磁盘表面的磁性媒介上，而记录磁头则用作在旋转磁盘表面上进行磁性记录信息。通常，若干个磁头形成晶圆，而该晶圆将被切成单独的长形条。每一长形条上包括多个独立的记录磁头。这些长形条上最终会被锯成单一的磁头元件，这些磁头元件则被安装于硬盘驱动器的磁头折片组合上。一种常见的长形条100如图1所示，其包括多个并列设置的磁头形成区101以及形成在两个相邻的磁头形成区101之间的磁头切割区103。沿着这些磁头切割区103，该磁头形成区101最终被切割成单一的磁头102。如图2a所示，该磁头102包括前边111、尾边 113以及形成于两者之间的磁头体112。该尾边113上具有多个连接触点118，例如4个，以与磁头折片组合的悬臂件(图未示)连接。而一个具有读写元件(图未示)的极尖117被嵌入至尾边113的中部，用以实现读写操作。该磁头体112面向外部磁盘(图未示)的一个表面被称作空气承载面(air bearing surface，ABS) 114，该空气承载面114具有一个通过真空蚀刻技术而形成具有适当深度的凹腔115，以及未被蚀刻的高于凹腔115的空气承载面图案(air bearing surface pattern,ABS pattern) 116。当磁盘驱动单元运行时，磁头102的空气承载面114与高速旋转的磁盘之间形成空气动力学接触，使得磁头102动态地悬浮于磁盘上方，进而实现数据的读写操作。请参考图2a，该ABS图案116为规则的对称的图案。长形条在被锯成单一元件之前都要进行测试以确保磁头符合制造规格。例如，在制造过程中，磁头极尖的位置对光掩膜和长形条之间的对准十分重要。在一个光掩膜中，极尖与ABS图案的边缘的距离是预定好的，该距离是制造规格的标准。人们往往渴望在制造后，该距离能与标准值相同或在允许的误差范围之内。因此，在切割长形条之前，极尖和ABS 图案的边缘之间的距离须进行测量。一般情况下，带笔直边缘的规则的ABS图案，如图2a_2b中的ABS图案116的测量是很容易操作的，只需在该图案上挑选一条笔直的边缘131作为参照系，继而用特定的测量机器测量极尖117和该笔直的边缘131之间的距离。然而，不规则的ABS图案的测量则显得困难。请参考图2c，其展示了一种不规则的ABS图案216，该不对称的图案上没有笔直的边缘或直线段，从而难以挑选参照系进行测量。在实际操作中，操作员凭经验或随意挑选一条线211作为参照系来测量其位置与极尖217位置之间的距离。因此，在测量过程中，无可避免甚至经常发生误差。另外，该误差值会受不同操作员的不同经验影响。因此，此种测量方法将大大降低测量精度，进而削弱磁头的性能。因此，亟待一种改进的、易于进行测量动作的长形条和晶圆以克服上述缺陷。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供一种具有带直线段的规则测量图案的长形条，该规则测量图案作为测量参照系，以便于测量极尖和ABS图案的位置，从而提高测量精度，进而改善磁头的性能。本专利技术的另一个目的在于提供一种具有带直线段的规则测量图案的晶圆，该规则测量图案作为测量参照系，以便于测量极尖和ABS图案的位置，从而提高测量精度，进而改善磁头的性能。为实现上述目的，本专利技术的长形条包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区，所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头，每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案。其中，至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案，以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。在一个优选实施例中，所述规则测量图案为T形图案，所述T形图案具有相互垂直的水平部与垂直部。较佳地，所述水平部的宽度在5um至200um之间，所述垂直部的长度在IOum至 IOOOum 之间。在另一个实施例中，所述规则测量图案为十字形图案或L形图案。较佳地，所述长形条还包括形成于所述规则测量图案下方的覆盖图案。较佳地，所述长形条还包括形成于所述磁头切割区的标记，用以标识磁头相对磁盘的不同位置。在一个实施例中，所述标记形成于所述规则测量图案上。较佳地，所述标记为T形标记，用以标识位于磁盘上侧的磁头。较佳地，所述标记为L形标记，用以标识位于磁盘下侧的磁头。本专利技术的晶圆，所述晶圆上搭载至少一长形条，所述长形条包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区，所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头，每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案，其中，至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案，以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。在一个优选实施例中，所述规则测量图案为T形图案，所述T形图案具有相互垂直的水平部与垂直部。较佳地，所述水平部的宽度在5um至200um之间，所述垂直部的长度在IOum至 IOOOum 之间。在另一个实施例中，所述规则测量图案为十字形图案或L形图案。较佳地，所述长形条还包括形成于所述规则测量图案下方的覆盖图案。较佳地，所述长形条还包括形成于所述磁头切割区的标记，用以标识磁头相对磁盘的不同位置。在一个实施例中，所述标记形成于所述规则测量图案上。较佳地，所述标记为T形标记，用以标识位于磁盘上侧的磁头。较佳地，所述标记为L形标记，用以标识位于磁盘下侧的磁头。与现有技术相比，本专利技术的长形条在其磁头切割区上形成有带直线段的规则测量图案，该规则测量图案用作测量极尖和ABS图案的位置的参照系。当测量该长形条时，操作员只需测量直线段和极尖之间的距离，从而测出极尖的位置和ABS图案的位置是否符合制造规格。基于该种设置，测量过程被简化，同时易于操作。而且，测量精度大大提高，误差率明显下降，进而提高磁头的性能。通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术的实施例。附图说明图1为具有多个磁头的传统长形条结构图。图加为图1所示长形条上的单一磁头的立体图。图2b为图2所示具有规则ABS图案的磁头的平面图。图2c为具有不规则ABS图案的磁头的结构图。图3为本专利技术的长形条的第一实施例的结构图。图4为图3所示的长形条的局部视图。图5为图4所示的长形条的规则测量图案的第一实施例的详细结构图。图6a为本专利技术长形条的测量规则图案的第二实施例的结构图。图6b为本专利技术长形条的测量规则图案的第三实施例的结构图。图7a为本专利技术的长形条的第二实施例的结构图。图7b为图7a所示长形条的局部视图。图为ABS图案在第一次光刻中的第一光掩膜的结构图。图8b为ABS图案在第二次光刻中的第二光掩膜的结构图。图8c为ABS图案在第三次光刻中的第三光掩膜的结构图。图9a为本专利技术的长形条的第三实施例的结构图。图9b为图9a所示的标记的不同放置方向的变化实施例。图IOa为本专利技术的长形条的第四实施例的结构图。图IOb为图IOa所示的标记的不同放置方向的变化实施例。图11为本专利技术与现有技术的测量误差的对比框图。图12为本专利技术的具有多个长形本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种长形条，包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区，所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头，每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案，其特征在于：至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案，以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁响华，李济波，尹辉，金则清，
申请(专利权)人：新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：HK