【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉用真空泵的过滤网。
技术介绍
在单晶生产过程中，单晶炉的真空泵的除尘口的过滤网会经常被氧化物堵塞，如果炉内压力高，氧化物不能及时排出时，会对单晶成晶造成困难，而且抽真空时间过长会影响真空泵使用寿命，并且用油量大，据实践，每四至五炉就需更换一次真空泵油，浪费严重。
技术实现思路
本技术的目的是提供不易堵塞一种单晶炉用真空泵的过滤网。本技术采取的技术方案是一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网的横截面呈向外凸的齿状，外网横截面呈向内凹的齿状，且内网向外凸的齿与外网向内凹的齿相一一对应衔接。采用本技术，可以有效的增大过滤网的过滤面积及过滤效果，使氧化物堵塞过滤网的机率变小，从而提高真空泵用油的使用效率。附图说明图1是本技术的俯视示意图。图中序号表示；外网1、内网2、内网凸齿3和外网凹齿4。具体实施方式下面对本技术作进一步说明。参照图1，该单晶炉用真空泵的过滤网包括圆柱状的内网2与圆柱状的外网1，外网1位于内网2外部，内网2具有若干个内网凸齿3，内网2的横截面呈向外凸的齿状，外网1具有若干个外网凹齿4，外网1的横截面呈向内凹的齿状，且内网凸齿3与外网凹齿4 一一相衔接。这样设计，可以有效的增大过滤网的过滤面积及过滤效果，使氧化物堵塞过滤网的机率变小，从而提高真空泵用油的使用效率。据测试及实践表明，单晶炉内的压力可以减少200帕以上，真空泵用油比原来增加了一至三个炉次，对节约能源，降低成本起到很好的作用。
【技术保护点】
１．一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网的横截面呈向外凸的齿状，外网横截面呈向内凹的齿状，且内网向外凸的齿与外网向内凹的齿相一一对应衔接。
【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉用真空泵的过滤网，包括圆柱状的内网与圆柱状的外网，外网位于内网外部，其特征在于内网...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜启达，
申请(专利权)人：浙江星宇能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33
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